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1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统
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生产厂家天津中环电炉股份有限公司成立于1993年,坐落于天津市北辰经济开发区,公司是集研发、制造、营销于一体的生产制造型高新技术企业,以实验室电炉、工业电炉及热分析仪器为产品核心,其中实验室电炉280余种,工业炉2大系列,热分析类仪器30余种。在科研院所、各大高校和重点领域企业累计用户上万家。公司产品主要应用于金属材料、特种陶瓷、复合材料、半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料领域。
2017年中环电炉成功登陆全国中小企业股份转让系统(证券代码:872594)。
1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统产品用途:
此款CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控
生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结真空淬火退火,快速降温等工艺实验。
产品组成:
CVD系统配置:
1、1200度开启式真空管式炉(可选配多温区)。
2、滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。
3、多路质量流量控制系统
4、真空系统(可选配中真空或高真空)
1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统产品特点:
1、控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
2、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
3、(电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。
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