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1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,石油,能源
天津中环电炉股份有限公司

高级会员12年 

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接触角测量仪,超快高温烧结炉,马弗炉,箱式电炉,管式炉,排胶炉,钟罩炉,PECVD系统,CVD系统

天津中环电炉股份有限公司位于天津北辰科技园区,创建于一九九三年,至今已拥有5000多平米的现代化标准厂房,成套的加工设备,现代化的三维产品设计,完善的质量检测体系。

公司于高低温真空/气氛电加热技术的研究、开发与应用,主要面向国内高校实验室以及科研机构。公司主要产品如下:

  1. CVD系统炉、快速退火炉、石墨烯制备炉、镀膜炉、滑动炉、多工位回转炉;

  2. 1200℃/1400℃/1600℃ 真空气氛管式电炉;单/双/三/五/多温区真空气氛管式电炉;

  3. 1200℃ 开启旋转式单双温区真空气氛管式电炉;

  4. 1200℃/1400℃/1600℃ 立式真空气氛管式电炉;

  5. 1000℃/1200℃/1300℃/1600℃ 节能箱式电炉;

  6. 1300℃/1600℃ 箱式真空气氛炉

  7. 1400℃/1600℃ 真空/气氛管式电炉:梯度炉双温区、梯度炉三温区;

  8. 1400℃/1600℃ 升降式坩埚电炉;

  9. 鼓风/真空/远红外 干燥箱系列;

  10. 气体质量流量控制系统、气体浮子流量控制系统;

  11. 中真空系统,高真空系统;

  12. 计算机集散控制系统;

也可根据客户的具体要求定制非标产。

2010年5月,我公司研制的“开启式真空/气氛管式电炉”,经由国家科学技术委员会组织的科技技术成果鉴定会鉴定。

公司部分客户:清华大学,北京大学,北京化工大学,北京理工大学,中国矿业大学,*民族大学,北京航空航天大学,首都师范大学,中国地质大学,中国人民大学,南开大学,天津大学,天津科技大学,天津理工大学,天津商业大学,广东工业大学,华东理工大学,中山大学,哈尔滨工业大学,福州大学,厦门大学,中国科技大学,复旦大学,华南理工大学,上海交通大学,兰州大学,燕山大学,中国石油大学,山东大学,武汉科技大学,华中科技大学,武汉大学,黑龙江大学,吉林大学,大连理工大学,四川大学,首都钢铁公司,武汉钢铁公司,天津钢铁公司,*大连化学物理研究所,*化学研究所,*物理研究所,*理化技术研究所,*工程与过程所,*生态环境研究中心,国家纳米科学中心,北京有色金属研究总院等等上百所高校、科研机构、企业建立了良好的合作关系。

天津市中环实验电炉有限公司

地址:天津市北辰经济开发区双川道11号








详细信息

产品用途:

此款CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控

生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结真空淬火退火,快速降温等工艺实验。

 

产品组成:

CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配多温区)。

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)

 

产品特点:

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

 

2 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

3 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。

 

 

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,石油,能源
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