韩国SEC公司提供的扫描电镜主要是用三个型号,SNE-3000MBzui大放大倍率3万倍,SNE3000Mzui大放大倍率6万倍,SNE-4500Mzui大放大倍率10万倍。
sec Mini-SEM 規格表: |
型號 | SNE-3000MB | SNE-3200M | SNE-4500M | 電子光學系統 | 解析度 | 20nm (30kV, BSE Image) | 15nm (30kV, SE Image) 20nm (30kV, BSE Image) | 5nm (30kV, SE Image) | 放大倍率 | 30X~30,000X | 30X~60,000X | 30X~100,000 | 加速電壓 | 5~30kV (5 / 10 / 15 / 20 / 30 - 5 Steps) | 觀察模式 | 標準模式 帶電減輕模式 | 標準模式 帶電減輕模式 | 標準模式 | 信號偵測 | 背散射電子影像(BSE) | 二次電子影像(SEI) 背散射電子影像(BSE) | 二次電子影像(SEI) 可選購背散射電子影像(BSE) | 載台系統 | Stage Traverse | 3-軸系統 - X, Y-軸:20mm / R-axis:360° 影像偏移Image Shift:±100um | 5-軸系統 - X, Y-軸:40mm / R-axis:360° T-軸:0 to 45° Z-軸:0 to 35mm 影像偏移Image Shift:±100um | zui大樣品尺寸 | 50mm 直徑 x 20mm 高 | 80mm 直徑 x 35mm 高 | 顯示 | 畫面紀憶 | 高速模式 (320x240) : 10 畫面/sec (預覽Preview) 低速模式 (640x480) : 1 畫面/sec 相片模式 1 (1280x960) : 1 畫面/min 高速模式 2 (2560x1920) : 1 畫面/min | 自動功能 | 自動對焦, 自動像散, 自動對比與亮度 | 影像格式 | BMP, JPG, PNG | 資料顯示 | 放大倍率, 偵測器型式, 加速電壓, 真空模式, 文字Logo, 日期時間, 尺標 | 真空系統 | 真空模式 | 高&低真空系統 | 高真空系統 | 真空幫浦 | 旋轉幫浦 渦輪分子幫浦 | 操作電腦 | 作業系統 | Microsoft Windows® 7 | *處理器 | IN® Core™ i5 | 記憶體/硬碟 | 2GB / 500GB | 介面連接 | USB 2.0 | 尺寸和重量 | 主體 | 300(W)x640(D)x560(H) mm, 90kg | 390(W)x330(D)x560(H) mm, 98kg 390(W)x310(D)x560(H) mm, 18kg(Controller) | 旋轉幫浦 | 400(W)x190(D)x340(H) mm | 安裝環境 | 室溫 : 15℃~30℃ / 濕度 : 70% 或更低 / 電源 : 單相 100-240 VAC, 1KW, 50/60 Hz |
|