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SEM5000X 超高分辨场发射扫描电子显微镜
超级会员第5年
生产厂家国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术,为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。
公司源于中国科学技术大学,实验室在高duan科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年,多项技术、研究成果突破国际封suo和禁运,并获得 ”中国科学十da进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。
公司传承实验室的创新基因与探索精神,为世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子,获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠jun企业“等奖项。
公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域,致力于帮助客户更高效地推动技术的发展,探索并创造人类的未来。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。
产品优势:
•超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
•样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
•高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
•最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
应用案例
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