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薄膜应力测试仪
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北京飞凯曼科技有限公司为多家国内外高科技仪器厂家在中国地区*代理。飞凯曼科技公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供*的仪器、设备，Z周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，光电技术、材料科学、半导体薄膜薄膜生长和加工技术、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。飞凯曼科技公司有幸成长在这个科技创造未来的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。
主要产品:
1. 晶圆探针台、平板式样品探针台、Mini腔探针台、四探针台、环境可控型四探针台、高低温（变温）探针台、霍尔效应测试仪、变温霍尔效应测试仪、塞贝克效应测试仪
2. 在线表面缺陷检测系统、片状物在线表面缺陷检测系统、片状物离线表面缺陷检测系统、智能型视频表面检测系统、自动化印刷检测系统
3. 日本AET公司微波介电常数测试仪
4. 在线粘度计、便携式在线粘度计、高温粘度计
5. 高纯镀膜材料：五氧化三钛、钛酸镧、二氧化硅、镧铝混合物、氧化铝、硅铝混合物、氧化钽、氧化铌
6.半导体激光器、波长稳定的半导体激光器、单频半导体激光器、光纤耦合半导体激光器、光纤激光器、波长可调谐单频激光器、激光谐振腔设计软件
7 体全息光栅（VHG）、脉冲展宽器、脉冲压缩器、脉冲抑制器、陷波滤波器、ASE抑制滤波器、合束器、多线滤波器、相位掩模版、VHG-FAC、激光稳频元件、氟化钙（CaF2）晶体、Er:YAG晶体、Nd：YAG晶体、Yb：YAG晶体、Ho:YAG晶体、Tm：YAG晶体、铌酸锂晶体（ＬiＮbO3）、掺铒玻璃、磁旋光玻璃
8.真空设备配件：磁控阴极（含圆形和矩形）、气体质量流量器（MFC）、朗谬尔探针、气体闭环控制器等
9.日本UNIOPT公司双折射测量系统、光弹性模量测试系统、应力测试系统、磁光克尔效应（MOKE）测试仪、薄膜残余应力测试仪
10.日本APCO公司精密自动划片机、贴膜机、清洗机、撕膜机
详细信息
北京飞凯曼科技公司提供薄膜应力测试仪。薄膜应力测试仪，又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪，是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的*的工具。
薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响, 可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变. 例如, 薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素, 薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS 器件结构的特性, 甚至严重劣化器件的性能, 薄膜的内应力对薄膜电子器件和薄膜传感器的性能有很大的影响.因此, 薄膜应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到重要的作用, 薄膜应力的测量备受关注。再例如在硬质薄膜领域，金属氮化物、氧化物、碳化物等硬质薄膜因具有优越的耐磨、耐腐蚀等特性，被广泛应用于金属材料的防护．硬质薄膜的主要制备方法包括物理气相沉积和化学气相沉积技术．研究发现，沉积态硬质薄膜中存在较大的残余应力，而且沿层深分布不均匀；该残余应力对硬质薄膜一基体系统的性能影响很大-lJ_精确地测量硬质薄膜的残余应力，系统研究它与沉积工艺的关系，对优化硬质薄膜基体系统的性能具有重要的意义．
本公司提供的基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用*控制技术和傻瓜化的操作，使得FST150薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜残余应力。 根据我们科研工作者*的扎实的理论研究和实际工艺探索，研制的一套适用于各种薄膜应力测试的装置。近年来，经过国内院校和科研单位的实际使用和验证，该仪器具有良好的重复性和准确性，是一款广泛应用于各领域薄膜制备和材料研究的高性价比的仪器。
产品功能和特点：
自动采集分析数据功能；
自动扫查样品边缘，定位样品中心；
自动计算出曲率半径值和薄膜应力值；
对原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位测量的方式，计算薄膜应力值。
技术参数：
1.原理：曲率法Stoney公式
2.薄膜应力测量范围：5MPa到50GPa；
3.曲率半径测试范围：0.3-20m
4.曲率半径测试误差：﹤±1%
5.薄膜应力计算误差：﹤±2%
6.测试平台行程：X方向100mm，Y方向50mm
7.样品尺寸：长方形样品
8.样品定位：自动定位原点
9.样品校正：可计算校正原始表面不平直影响
10.主要功能：自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力
11.控制：独立PC及控制软件
12.仪器尺寸：1500x380x360mm
详细信息请咨询我们。
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