金属薄膜四探针电阻率测试仪

一般目前的四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

 金属薄膜四探针电阻率测试仪

    仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。  

恒流源：

输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档

10mA量程：0.1～1mA 连续可调

10mA量程：1mA ～10mA连续可调

恒流精度：各档均优于±0.1%

适合测量各种厚度的硅片
 

基本技术参数 

1.测量范围、分辨率

电    阻：     1.0×10-3～ 200.0×103 Ω,    分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω

电 阻 率：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω-cm  分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω-cm

方块电阻：     10.0×10-3～ 200.0×103Ω/□  分辨率1.0×10-3～ 0.1×103 Ω/□

测量范围：0～199.9mv，灵敏度：100μv，准确度：0.2%（±2个字），供电电源：AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W

 使用环境：

相对湿度≤80%

重量、体积

重量：2.2 公斤

体积：宽210×高100×深240（mm）

 产品特点：

■ 四探针：一次测量，显示完整电阻率值。

■ 采用了*的恒流源技术，能够满足宽范围的电阻率测试要求

■电阻率测量：大屏幕清晰显示硅料电阻率值，方便检料工快速分选

■ 电流测量：本仪器采用良好芯片技术，可通过调节硅材料厚度，仪器可直接锁定电流，使测量使用更加简便准确，本仪器可根据需要配备测试平台， 利用测试平台可以测试薄片电阻率

 注意事项：

1、仪器不使用时请切断电源，连接线无需经常拔下，避免灰尘进入航空插引起短接等现象，

2、探针笔测试结束，套好护套，避免人为断针

3、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书，规范操作

4、轻拿轻放，避免仪器震动，水平放置，垂直测量

量程划分及误差等级