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HPR-80 活泼性/腐蚀性气体分析仪

型号
HPR-80
参数
产地类别:进口 应用领域:综合
英格海德分析技术有限公司

中级会员5年 

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20年专注引进世界科研仪器。


英格海德分析技术有限公司(Extratech Analytical Ltd.))是世界分析仪器制造商在中国的总代理。公司携手北京英格海德分析技术有限公司开展销售/市场推广及售后服务,打造优良的企业形象。多年来,我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是工作在新技术研究的前沿,如催化化学、氢能研究、等离子体物理、表面科学、大气环境监测、半导体材料和微纳米测量领域。我们与他们保持着密切的、积极的关系。 我们在为客户提供有价值的仪器设备的同时,还为他们提供了及时周到的售后服务,让用户无后顾之忧,使其专心科研。

公司主营质谱仪、智能重量分析仪、高压气体吸附仪、催化剂表征系统、等离子体诊断设备、在线VOC分析质谱仪、导热系数分析仪、在线气体质谱仪、质子转移反应质谱仪、等离子体蚀刻探针和材料加工分析仪器等。

 

 

 

 

详细信息

HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用:


• 等离子体/反应性离子蚀刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半导体晶片加工研究
• 真空、等离子体过程
• 活性物质定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究

HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点:


• 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
• 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
• 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
• 进样压力从 1 mtorr 至大气压
• 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
• 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 软件 MASsoft 控制
• 矩阵反演,归一化及单峰参考

 

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产品参数

产地类别 进口
应用领域 综合
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