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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

型号
VTC-16-3HD
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

3靶等离子溅射仪技术参数

输入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

输出功率

  • 1600VDC
  • zui大电流50mA 

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台
 

  • 一个外径50 mm 的样品台可以移动三个位置 
  • 基片可以放在样品台上加热温度 500°C
  • PID控温方式和触摸屏面板,控温精度+/-10°C 
  • zui长溅射时间不可超过5分钟

控制面板
 

  • 控制面板为PLC,4.3触摸屏
  • 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置  基片加热温度

可选
 

 

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm长不锈钢波纹管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在仪器内)
  • 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
  • 各种高纯度金属靶
  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 (这个我们不提供)

进气口

 一个精密可调针阀安装进气口,以实现方便的调节进气量



靶材

 

 

标配靶材分别有

  • 金,银,铜 靶材: 
  • 尺寸金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         银靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         铜靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可选靶材点击链接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 净重:50KG

质保期

一年质保期,相关耗材除外,终身维护。

质量认证

   Certified

 

 

 

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