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G20 日本Hisol离子溅射设备表面涂覆抗静电涂层
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日本Hisol离子溅射设备表面涂覆抗静电涂层 G20 特点介绍
该台式溅射设备非常适合在样品表面涂覆抗静电涂层,例如对非导电样品进行 SEM 观察时。
精致、紧凑的设计和
带触摸屏的简单用户界面
确保舒适的操作性。
无需惰性气体
一键执行从吸尘到涂层的所有操作
将条件保存到库(最多 10 个)
最多可同时处理 7 个样品
减少低电流对样品的损坏
Au、Ag、Pt成型(最大50mmφ)
一套主体+泵+1个目标
即可立即使用
日本Hisol离子溅射设备表面涂覆抗静电涂层 G20 规格参数
外形尺寸350×210mm(高230mm)
体重10公斤
电源110V±10%,50/60Hz
离子电流1~10mA(1mA/步)
溅射时间1 至 600 秒(1 秒/步)*约15nm成型,10mA,100秒
靶材金、银、铂(50mmφ/99.99%)
腔室尺寸140mmφ(H100mm)
兼容的样本量50mmφ(H30mm)
该台式溅射设备非常适合在样品表面涂覆抗静电涂层,例如对非导电样品进行 SEM 观察时。
精致、紧凑的设计和
带触摸屏的简单用户界面
确保舒适的操作性。
无需惰性气体
一键执行从吸尘到涂层的所有操作
将条件保存到库(最多 10 个)
最多可同时处理 7 个样品
减少低电流对样品的损坏
Au、Ag、Pt成型(最大50mmφ)
一套主体+泵+1个目标
即可立即使用