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加热型等离子薄膜溅射仪--GSL-1100X-SPC12H

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

技术参数

输入电源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W 

样品室

  • 石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
  • 带有不锈钢法兰

             

衬底加热器

 

  • 载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度
  • 一个30段可编程温度控制器,控温精度±1ºC
  • 推荐升温速率:15°C/m
  • 样品台的高度可以调节
     

 

                    

样品台                     温控盒后视图


真空配置

  • 每个配件包含在内,可立即使用

  • 仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵,出气口安装有立式油污过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,和减少泵油的损耗,保护环境和人体健康。
  • 高纯度金箔靶

进气口

有一不锈钢针阀安装在仪器上,可以通入氩气,能实现更好的等离子涂层


靶材

  • 标配靶材
  • 包含:4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm 
  • 可选靶材:请点击查看 Au, Ag or Pt tagets.                

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

运输重量

160Lbs with crating

净重

20 kg

质保期

一年质保期,终身维护

质量认证

  Certified

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产品参数

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