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OTF-1200X-50S-PE-SL PECVD管式炉(小型滑动)

型号
OTF-1200X-50S-PE-SL
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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PECVD管式炉(带有预热系统的滑动)

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PECVD管式炉

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三温区1500oC PECVD管式炉

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

技术参数

特点

  • 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 
  • 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
  • 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 
  • 通过工艺调节来控制化学计量 
  • 可以沉积各种材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

开启式管式炉

  • 输入电源: 208 – 240V AC,功率: 1.2kW
  • zui高工作温度1200°C,小于60分钟
  • 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字了解涂层的详细参数)
  • 连续工作温度1100°C
  • 炉管采用高纯石英管:50mmOD x 44mmID x 1000mm L
  • 可设置30段升降温程序,并且带有过热和断偶保护功能
  • 加热区长度:200mm 单温区. 
  • 恒温区2.3" (60mm)  (+/-1°C) @ 1000°C
  • 以下图片显示加热区的温度曲线图         
    (点击图片查看详细资料)

等离子体射频电源

  • 输出功率:          5 -300W 可调 稳定性± 1% 
  • 射频电源频率:          13.56 MHz 稳定性±0.005% 
  • zui大反向功率:      200W 
  • 匹配:  自动      
  • 射频电源电子输出端口:        50 Ω, N型半导体, 阴极
  • 噪音:                      <50 dB. 
  • 冷却:                风冷
  • 电源 :                208-240VAC, 50/60Hz


真空法兰和接头

  • 真空法兰采用 304不锈钢制作. 
  • 左端法兰上安装有 KF-25真空接口,2KF-25快速卸装卡箍,KF-25直角阀,KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀



真空泵

 

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2 Liter /S 
  • 出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)
  • 真空度:  10-2 torr


产品尺寸和重量

  • 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
  • 净重: 160kg

质保期

一年质保期,终身维护,(相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件)

质量认证

CE Certified

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