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PCB/半导体产品电镀镀层测厚仪 XRF-2000L
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代理商上海益朗仪器有限公司(www.shylyq.com)一直致力于为PCB 厂商,电镀行业,科研机构,半导体生产等电子行业提供高性能的仪器和优质的售后服务。让客户满意,为客户创造较大的价值是我们始终追求的目标,因为我们坚信,客户的需要就是我们前进的动力。愿我们成为真诚的合作伙伴、共同描绘双方的发展蓝图!
公司部分经营品牌及产品如下:
韩国进口Micro Pioneer品牌X射线镀层测厚仪(XRF-2000L;XRF-2000PCB;XRF-2000H)及Rohs检测设备(XRF-2000R)
德国进口Roentgenanalytik品牌X荧光分析仪(ComPact eco;ComPact eco-pcb,ComPact 5;ComPact 5PIN;Maxxi 4(已停产,服务仍在继续);Maxxi 5;Maxxi 5PIN)
美国进口UPA品牌β射线涂镀层测厚仪(MP-700(已停产,服务仍在继续);MP-900(带霍尔效应功能)CMS(手持式);磁感应/电涡流涂层测厚仪(D-1500;D-3000;D-3000 PLUS);孔铜测厚仪/面铜测厚仪(CD-8);及各种涂镀层测厚仪标准片
美国Matrix品牌手持式X射线镀层测厚仪(HMX System)
俄罗斯进口Intron品牌孔铜厚度测量仪及覆铜板板厚测量仪(ITM-51,ITM-52(已停产,服务仍在继续);ITM-525)
美国进口KOCOUR品牌电解/库仑测厚仪(电位差测试仪)(model6000)及电解测试液和标准片
美国进口START品牌铜箔测厚仪(SM6000)
日本进口KETT品牌涂层测厚仪(LZ-990;LE/LH/LZ-370;LE/LH/LZ-373;LE/LH/LZ-200J;等等型号涂层测厚仪)
韩国进口K-MAC品牌OSP膜厚仪(ST4080-OSP)
美国进口SCS品牌离子污染测试仪(OMEGAMETER 600SMD)
美国进口Seintl(S.E.)品牌辐射测量表(MC1K,monitor4,inspector等)
美国进口Robotic品牌可焊性测试仪(202TL)
美国进口CalMetics品牌镀层测厚仪标准片(标样,标块,标准块)每片均含NIST证书。
日本进口KYORITSU产品:
简易水质测定组-铅 型号:SPK-Pb
氨离子蒸馏检验器(Distiller Set for Ammonium) 型号:WA-NH4-D
阴离子介面活性剂测定组 型号:WA-DET
水质离子测试滴定组 Drop Test 型号 WAD-
水质离子试验纸 型号:WAP-
简易水中油脂浓度测定组 型号 WA-OIL-S
纸张表面pH测试组 型号 MPC-
pH Test Paper PH试验纸 型号: PHG-BCG PHG-PLS
单项目水质计(DIGITAL PACK TEST )型号:DPM-
全氰蒸馏检验器(detector set total cyanide) 型号:WA-CNT
Digital Water Analyzer 多功能水质分析仪 型號:Lambda-9000
多项目水质计 型号:DPM-MT
简易水质离子测试包 型号:WAK-/ZAK-/KR
水质测定用试药 型号:LR-
美国进口Walchem产品:
镀镍自动添加药水控制器(型号 WNI310 WNI410 WNI420)
镀铜/蚀铜自动添加药水控制器(型号 WCU310 WCU410 WCU420)
PH/ORP传讯器 / 监控器备有W-130,W-230 ,WPH310 ,WPH320,WPH410,WPH420
电导率自动添加药水控制器WEC310,WEC410
WCT400/410冷却塔控制器;WDT400/410双路输入冷却塔控制器
锅炉水处理控制器。备有WBL300/310、WBL400/410、WCM300及WCM400/410。
Web Master ONE在线分析过程控制器
WEL探头电极等相关耗材配件
美国进口EXTEC金相磨抛机,低速精密切割机,高速切割机,镶嵌机,全自动研磨抛光机,金相切割碟,金相切割冷却液,研磨砂纸,抛光绒布,镶嵌料,抛光粉,抛光液,抛光膏,凝胶杯,样片夹,环氧基树脂套件,丙烯酸树脂套件
德国SCAN-DIA快速丙烯酸凝胶套件,真空抽气泵,超声波清洗机等其他金相设备及耗材。
日本 Shoda Techtron品牌 Model : VT-210 V-Score Checker( V槽残厚测量仪)
日本进口IWAKI品牌计量泵(ES-B/ES-C/EHN)
美国KOCOUR品牌哈氏槽,整流器,阴极片,阳极片
美国KOCOUR品牌离心机,离心管,用于测定硫酸根离子
美国CHEMetrics 水质分析套件及水质分析仪、试剂
美国Dickson 温湿度记录仪
美国Extech 全线产品
PCB/半导体产品电镀镀层测厚仪 XRF-2000L
适用于测量PCB/半导体产品镀层厚度测试
机箱尺寸 : 610 W x 670 D x 490 H
可测量样品大小 : 550 W x 550 D x 30 H
XYZ轴移动范围 : 200 W x 150 D x 30 H
zui大承重 : 3 KG
荧光X-射线镀层厚度测量
●荧光X-射线微小面积镀层厚度测量仪的特征
◆ 可测量电镀、蒸镀、离子镀等各种金属镀层的厚度
◆ 可通过CCD摄像机来观察及选择任意的微小面积以进行微小面积镀层厚度的测量,避免直接接触或破坏被测物。
◆ 薄膜FP法软件是标准配置,可同时对多层镀层及合金镀层厚度和成分进行测量。此外,也适用于无铅焊锡的应用。
◆ 备有250种以上的镀层厚度测量和成分分析时所需的标准样品。
● 荧光X-射线仪器的测量原理
物质经X射线或粒子射线照射后,由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态,此物质必需将多余的能量释放出来,而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量仪或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的荧光的能量及强度,来进行定性和定量分析。
● 镀层厚度的测量方法
镀层厚度的测量方法可分为标准曲线法和FP法(理论演算方法) 2种。标准曲线法是测量已知厚度或组成的标准样品,根据荧光 X射线的能量和强度及相应镀层厚度的对应关系,来得到标准曲线。 之后以此标准曲线来测量未知样品,以得到镀层厚度或组成比率。FP法即是Fundamental Parameter Method的简称,即基本参数法
① 标准曲线法
经X射线照射后,镀层和底材都会各自产生荧光X射线,我们必须对这两种荧光X射线能够辨别,方能进行镀层厚度的测量。也就是说,镀层和底材所含有的元素必需是不*相同的。这是测量镀层厚度的先决条件。
对某种金属镀层样品进行测量时,基于镀层厚度、状态的不同,所产生的荧光X射线的强度也不一样。
镀层厚度测量时,可采用两种不同方法,一种是注重镀层中的元素所产生的荧光X射线强度,称为激发法。另一种是注重底材中的元素所产生的荧光X射线强度,称为吸收法。这两种方法的应用必需根据镀层和底材的不同组合来区分使用。
镀层厚度测量时,测量已知厚度的标准样品而得到其厚度及产生的荧光X射线强度之间的关系,并做出标准曲线。然后再测量未知样品的荧光X射线强度,得到其镀层厚度。但是需注意的是,荧光X射线法是从得到的荧光X射线的强度来求得单位面积的元素附着量,再除以元素的密度来算出其厚度。所以,对于含有杂质或多孔质蒸镀层等与纯物质不同密度的样品,需要进行修正。
② 薄膜FP法
采用薄膜FP法,只需要比标准曲线法更少的标准样品,就能简单迅速地得到定量的结果。
如果样品均匀,所使用分析线的强度就可用样品的成分和基本参数的函数来表示。换句话说,从任意组成的样品所产生的分析线强度,都可以从这基本参数来计算出,所以我们称这种方法为基本参数法。
如果荧光X射线产生的深度当做限大来考虑,这方法就适用于块体样品;如果将荧光X射线产生的深度当做非常小的值(临界厚度以下)来考虑,这方法就可以适用于薄膜样品。
如上所述,FP法的zui大特征是可对块体样品进行成分分析到薄膜样品的成分与厚度同时进行分析与测量。
● 仪器系统结构
① 测量部分的结构
用于照射(激发)的X射线是采用由上往下照射方式,用准直器来确定X射线的光束大小。
样品的观察是利用与照射用的X射线同轴的CCD摄像机所摄制的图像来确定想要测量的样品位置。标准配备了多种尺寸的准直器可根据需要调整照射X射线的光束大小来决定测量面积,zui小可测量面积是40umф。
② X射线操作部分(X-ray station)
Excel和Word是标准配置,利用这些软件,我们可以简单快速地进行测量数据的统计处理及测量结果报告书的编辑和打印。
技术参数
仪器规格及参数
X射线管 | 油冷式超微细对焦点X射线管 靶材:钨(W)、铝(AL)、钼(MO) 管电压:0~50kv 管电流:0.1mA |
照射方式 | 由上往下垂直照射方式 |
检测器 | 正比例计数管(PC) |
仪器校正 | 密度校正,标准样品校正 |
检测滤片 | Co片,Ni片可选 |
准直器 | 固定型或自动型 |
固定型:可选0.1,0.2,0.3,0.4,0.1x0.4mm | |
自动型:0.1,0.2,0.3,0.4,0.05x0.4mm | |
输入电压 | AC220V |
温度控制 | 前置放大及主机温度控制 |
工作温度 | 室温(22~25℃) |
真空样品室 排气所需时间 | 没有 |
可测量元素范围 | 钛(Ti)—铀(U) |
可测量厚度范围 | 原子序:22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um |
测量时间 | 10~30s |
操作接口 | Windows XP |
标准曲线 | .自动做标准曲线功能 |
.多点标准曲线 | |
.标准曲线的曲线表示 | |
测量功能 | .常规测量(自动测量功能) |
.设定输出方式功能 | |
.确认测量位置功能 | |
.自动测量条件设定(管电流,1次及2次滤波器,ROI,NF滤波器设定) | |
.薄膜FP法软件 | |
自动测量功能 | .测量位置的(X、Y、Z) |
.用鼠标在画面上输入 | |
.同一式样的重复测量功能 | |
.确认测量位置功能(图示) | |
.原点的设定功能(可记忆每个档案的原点) | |
.保存原点的影像功能 | |
.原点的补正功能(位置滑动角度补正功能) | |
补正功能 | .底材补正 |
.已知样品补正 | |
.自已输入补正(密度补正) | |
定性分析功能 | .KLM标示 |
.ROI设定数:50 | |
.能谱表示功能 | |
.能谱比较标示功能(2段标示.重叠对照标示.扣除标示) | |
.坐标尺寸设定功能(强度、能量) | |
.能谱,样品画面的保存功能 | |
数据处理系统 | .统计数值的表示:平均值,标准偏差,Cp,Cpk,zui大值,zui小值,数值范围 |
.数据的群组分类功能 | |
.*数据的抽出功能 | |
.X管理图 | |
.X-R管理图 | |
.直方柱状图 | |
.等高线,俯视图表示 | |
其它功能 | .画面拷贝功能 |
.样品台坐标标示功能 | |
.仪器维修调整功能 | |
.检测报告的自动做成 | |
安全功能 | .X射线电源的钥匙开关 |
.测量中样品台门扇锁闭功能 |
产品应用
产业 | 产品 | 应用例 |
IC封装 | 导线架,BGA,BCC,Flip-Chip,散热片 | Sn-Pb/xx,Ag/xx,Au/Ni/xx,Au/Ni-P/xx,Ni-P/xx,Cr/xx,Sn/xx, Au/Pd/Ni/Cu.Solder Bump… |
导线架 | 导线架 | Ag/xx |
PCB FPC | BGA,TBGA,TAB | Sn-Pb/xx,Au/Ni/xx,Au/Ni-P/xx,Sn/xx… 含溴的双层PCB |
端子工业 | 连接器 | Sn-Pb/xx, Au/Ni/Cu, Ni-P/xx ﹡), Ag/xx, Ni/Cu… |
被动组件 | 芯片电阻,电容,电感,热敏电阻 | Sn-Pb/Ni/xx,Sn/Ni/xx,Au/Ni/xx… |
螺丝工业 | 螺丝 | Zn/xx, Ni/xx, Cu/xx… |
电镀线 | ||
其它工业 | 探针,马达,石英振动器,电线电缆,装饰品 | Au/Ni/xx, Rh/xx, Cr/xx, Sn-Pb/xx |