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TCVD--OTF-1200X-S2-50SL 小型双炉体滑动管式炉

型号
TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

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生产厂家
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主营产品公司介绍

真空管式炉，高温箱式炉，高速震动球磨机，RTP快速退火炉，高温高压炉，涂覆机，电池制备设备等
　　合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年，是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备：包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品，其中包括：箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*，为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异，质量可靠，性价比高，环保节能、返修率低，远销到欧洲，美国，日本，德国等许多国家，广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域，受到客户*好评。
 
　　科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器zui高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，zui大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
 

技术参数

炉体结构
  • 两个炉体在一个滑动轨道上，炉体zui高工作温度1200℃
  • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
  • 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动
  • 仪器中配有不锈钢密封法兰

总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关）

zui高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

  加热速率:

 15°C/sec (RT - 150°C);

 10°C/sec (150°C - 250°C);

  7°C/sec (250°C - 350°C);

  4°C/sec (350°C - 500°C);

  3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷却速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意: 

zui大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却

 

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管
  • 高纯石英管
  • 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

温度控制系统
  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。
  • 控温仪表操作视频
  • 设置有超温和断热偶报警
  • 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上）
  • 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温
     （点击图片查看详细资料）

真空法兰
  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表
  • 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，数显真空计
     

滑轨长度

1200mm

真空度
  • 10E-5 torr（采用分子泵）
  • 10E-2 torr（采用机械泵）
  • 可在本公司选购真空泵
     

可选
  • 可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率
  • 1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统
  • 100W-500W的射频等离子源
  • 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
      

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨）

净重

约80kg

质保期

一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）

质量认证
  • CE认证
  • 所有电器元件（输入电压>24V）都通过了UL/MET/CSA认证
  • 本公司保证此设备通过TUV(UL61010）或CSA认证（需额外出认证费用）
        

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
  • 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

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