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OTF-1200X-5L-R-CVD 5英寸旋转CVD管式炉

型号
OTF-1200X-5L-R-CVD
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

 OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋转CVD炉。炉体有3个加热区,可提高温度均匀性,同时配有4通道的精密混气系统。此款管式炉设计主要用于电池粉体材料表面包覆或其他粉体材料表面修饰。设备相关论文(点击查看)

 

技术参数

炉体结构

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统
  • 采用高纯氧化铝作为炉膛材料,可以zui大程度减小能量损失
  • 直流电机带动石英管转动,其转速为0 - 10 RPM
  • 炉体可倾斜角度为30°
  • 炉体设计为开启式,以便于操作和对样品进行快速冷却

加热区

  • 三个温区总长度:600mm
  • 温区 1: 150 mm  ( 6")
  • 温区 2: 300mm  ( 12")
  • 温区3: 150 mm ( 6")
  • 恒温区为:450mm@+/-2℃(三个温区设置同样的温度)

 

  • 仪器中包含一根石英管
  • 尺寸:130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm (两端直径 )
  •    
  • 仪器中包含一套不锈钢真空法兰(上面已经安装了不锈钢针阀)

接头

  • 进气端接口:Φ6.35的卡套接口
  • 出气端接头:Φ12的宝塔嘴接头

工作温度

  • 连续使用温度:1100℃
  • zui高工作温度:1200℃< 1 h

温控系统

  • 三个温区采用三个温控系统独立控制,都是采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序
  • 炉体上安装有RS485接口,可选购控温模块,采用电脑控制炉体升温

热电偶

  • 三根 Omega K 型铠装热电偶

真空泵和冷井

  • 配有一双极旋片真空泵,上面安装有油雾过滤器
  • 可以选购冷井,防止实验中的沉积物损害真空泵
  •  

供气系统

  • 4通道精密气体控制系统,采用质量流量计,触摸屏控制,可同时通入1-4种不同气体
  • 注意:如果通入的是易燃易爆型气体,必须将设备安装在通风柜中

zui大功率

4KW

电压

208 - 240V单相(需要30 A 的空气开关)

质保

一年质保期,终生维护(不含炉管,密封圈和加热元件)

质量认证

  • CE认证
  • 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证
  • 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
  •      

净重

130kg

应用注意事项

  • 此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果
  •  

警告

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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