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TH-20KW 多晶硅超声波清洗机
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生产厂家济宁天华超声电子仪器有限公司位于孔孟之乡的山东省济宁市,是一家专用生产超声波设备和无损检测仪器的企业。我公司专业从事超声波清洗机,全自动超声波清洗线,半自动超声波清洗线,超声波提取设备,双层玻璃反应釜,旋转蒸发仪等产品的生产和销售;电火花检测仪,电火花检漏仪,埋地管线检测仪,超声波测厚仪,涂层测厚仪,探伤仪等无损检测仪器的生产销售。我公司有十五年的生产制造经验,下设超声波技术研究所、超声提取实验室等科研机构,技术力量雄厚,产品全国各地,远销欧美等国家。十五年的经验积累,十五年的开拓奋进,打造“天华”这一品牌。十五年专一、专注、专业生产,*。
我公司始终以“用户是上帝,质量是生命,人才是根本,信誉是保证”为企业宗旨,以“只有想不到,没有做不到----说到做到”为企业目标。科技创造品质,品质源于专业。济宁天华超声电子仪器有限公司愿与您携手共创未来。
多晶硅超声波清洗机产品介绍 1、机械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。
2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。
3、自动上下料台,准确上卸工件。
4、净化烘干槽,*的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。
5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。
多晶硅超声波清洗机技术参数 超声波功率:10.2KW 超声波频率:40K/80KHZ 换能器数量:200个 电源电压:三相五线380V应用范围 多晶硅超声波清洗加工设备,可广泛用于IC生产及半导体元器 件生产中晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除晶片表面的 有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器 皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。 炉前(RCA)清洗:扩散前清洗 光刻后清洗:除去光刻胶。 氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。 抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。 外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。 合 金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。