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ATC ORION 美国AJA ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统
- 型号
- ATC ORION
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眺望科技专注光电科技、半导体技术以及新能源环保领域系统检测。
眺望科技自2005年成立以来，一直致力于为客户提供高品质产品与服务。目前，眺望科技与多个一直保持着*合作关系，主要包括美国AJA磁控溅射、离子刻蚀、电子束蒸发等PVD设备，美国AYMONT碳化硅晶体生长工艺及设备，美国Digital Matrix*电镀设备，德国SENTECH等离子体工艺设备等，美国Film Sense多波长椭偏仪，德国ATL激光器以及徕卡LEICA光学显微镜等产品。行业应用覆盖半导体、真空镀膜、光电科技以及材料分析等领域，服务范围*。
眺望科技作为**代理商，依托良好的产品平台和专业务实的服务团队，目前在国内北京、上海、成都、重庆等城市分别设立办事处，与国内*科研院和企事业单位也建立了良好的合作关系。我们期待能为您提供更多更专业的行业解决方案。
“脚踏实地、站得更高、看得更远，眺望必将用真诚与您一道共铸辉煌！”
详细信息
AJA公司ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统是*的ATC系列下的一款结构紧凑型设计，拥有高性价比。
这些高压和超高压溅射系统不仅沿用了许多技术成熟的ATC-V和ATC-F溅射系统的设计特点和通用部件，还能提供一些*的功能，例如可调式气体路管（已申请），其旨在优化沉积均匀性。标准的ATC ORION模块（腔体，框架，集群法兰等）一般都有现货，因此AJA能够缩短交货时间。这些系统配置了AJA的*ST-20-O（HV）和A320-XP-O （UHV）磁控溅射源（2英寸和3英寸），并且可以安装加热至850 °C的基片加热器，zui大可放置直径为4英寸的基板，直径为5.25" 和4" x 4"的基片能够配置特殊的基片支架，zui高可加热至 350°C。
设备特点
- 腔室尺寸10", 12" 和 14"
- 高真空和超高真空型号
- 1.5", 2" 和3" 溅射源
- 基片支架zui大尺寸 6"
- 预真空室
- 基片片盒
- 自动加载
- 电脑控制
- 定制化系统
- 优于台式系统
美国AJA公司中国区总代理-重庆眺望科技有限公司
AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源世界，AJA公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但*。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。
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