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SP-25TC 25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC
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生产厂家沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供Z为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。
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产品型号 | 25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC |
主要特点 | 1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。 3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可 到3.8×10E-5 torr。 5、配有双旋直连式机械泵。 |
技术参数 | 高频感应加热炉 1、工作电压:三相AC 380 V 50Hz(需60 A空气开关) 2、zui大输入功率:15KW 3、振荡频率:30KHz-80 KHz 4、循环比:80% 5、感应线圈:外径Φ120mm,内径Φ110 mm,高50 mm(可微调) |
温度控制器 1、工作电压:AC208V-240V 单相 2、控温精度:±5℃ 3、温度:连续工作温度1000℃-2000℃,zui高工作温度1700℃(工作时间<30min) 4、zui大升温速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃) | |
石墨坩埚(易耗件) 1、高纯石墨坩埚:外径Φ40mm,内径Φ37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内部,以 提高金属熔炼时的洁净度) 2、zui大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2
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石英管和密封法兰 1、石英管:外径Φ100mm,内径Φ92mm,长355mm 2、顶部法兰:不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更 准确地测量样品温度) 3、底部法兰:设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接) | |
水冷机 1、温度:5℃-30℃ 2、水流速:16L/min 3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作 (建议使用特定的冷却剂液以达到*的冷却效果) | |
真空泵 1、工作电压:AC208V-240V单相 2、抽气速率:120L/min 3、极限真空度:10-2torr (为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr) | |
注意事项 | 操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动 氩气下进行,流量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石 英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。 |
其他事项 | 本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。
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