产品型号

    2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC

主要特点

    1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到

         3.8×10E-5 torr。

    5、迷你型浮子流量计精度为4%。

    6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。

技术参数

　感应加热器

    1、工作电压：三相AC 380 V  50Hz（需60 A空气开关）

    2、工作电流：7Amps-70Amps（需100A空气开关）

    3、功率：zui大振荡功率30KW，zui大输入功率15KW

    4、输出频率：30KHz-110 KHz

    5、占空比：80%

    6、感应线圈：内径Φ220 mm，高65 mm

    7、空气冷却：后风扇

　温度控制器及热电偶

    1、工作电压：AC208V-240V  单相

    2、控温精度：±3℃

    3、热电偶：C型，外径Φ1/4″，长10″

    4、连续工作温度范围：1000℃-2000℃

    5、zui大升温速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

　石墨坩埚（易耗件）

    1、高纯石墨坩埚：外径Φ114mm，内径Φ100mm，高142mm

    2、zui大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，zui大质量为4kg（以铁标定）

    3、保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温

                          1700℃）-高温毡，总厚度为32mm

　石英管和密封法兰

    1、石英管：两端开口，外径Φ216mm，内径Φ208mm，长500mm

    2、顶部法兰：采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4″的铠装接口（

                              可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度）

    3、底部法兰：设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接

　水冷机

    1、温度：5℃-30℃

    2、水流速：>16L/min

    3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作

    4、水压：≥0.1MPa

    5、流量：≥5L/min

   （建议使用特定的冷却剂液以达到*的冷却效果）

　真空泵

　工作电压：AC208V-240V单相

　移动炉架

　尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管

产品规格

注意事项

　操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气

    下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内

    的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项

　本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。