SWIM-1510MS白光干涉仪器SWIM-1510MS的详细资料：白光干涉仪器SWIM-1510MSSWIM1510MS产品特点及用途 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含● 晶体（Wafer）● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））● 平面电组件（MEMS Components）● 平面液晶显示器（LCD）● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB））● IC封装（IC Package）） 以上其它材料分析与组件微表面研究专业级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出专业级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得*的干涉条纹对比。● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。● 具有自动布补点功能● 可自行设定扫描方向技术规格参数型号SWIM1510MS系统配备显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人电脑显微镜单眼显微镜（标准配件）干涉物镜（选配）放大率10X 20X 50视野（ mm）0.5 0.25 0.1光学解析度（mm）1.12 0.84 0.61影像缩放1.0X（标配） 0.5X（选配）垂直扫描控制器扫描范围100um 400um扫描解析度0.1nm扫描模式自动光强度调整自动/手动扫描速度12nm/s样品移动平台X、Y平面移动平面150mm*100mm,手动（标准配件）Z轴移动平台80mm,手动（标准配件）位置数位显示单元三轴光学尺与三轴数位显示器（解析度 1um）偏移调整平台手动取像单元影像感测量面型CCD（标准配件）感测器解析度640*480（标准配件）电脑配置Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盘分析软体MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析，快速薄利叶转换和滤波，多样的2D和3D观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等阶高标准片（选配）50nm170nm230nm470nm1800nm