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SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

产品名称:

SOI基片(Si+SiO2+Si)

常规尺寸

dia4" 镀膜层:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技术参数:

国产SOI:膜层厚度可以按照客户需求加工

①顶层2um±0.5(5点), BOX层2um±0.1 ,  P型,总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um

②顶层3um±0.5(5点), BOX层2um±0.1,P型,总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um

电阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm

进口SOI:

点击查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常规尺寸:

SOI

φ6″100>/<110>镀2umSiO2层镀2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀0.2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀0.375umSiO2层镀0.1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀3umSiO2层镀220nmSi层-1sp


备注:

1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装

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