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VTC-100PA(加热型) 真空旋转涂膜机--VTC-100PA(加热型)

型号
VTC-100PA(加热型)
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

 VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 

 技术参数

主要特点

  • 真空吸附方式固定样件,操作简便。
  • 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
  • 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
  • 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
  • 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
  • 50W/24V 直流电机
  • 适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

参数

  •  电机功率:50W/24V
  •  速度范围:500-10000rpm
  •  程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
  •  增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
  •  时间范围:0-60s
  •  吸盘:Φ19mm、Φ60mm
进气口

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部

    上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,zui高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。

             

产品规格

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm
  • 重量:20kg

标准配件

1

 真空吸盘(含O型圈)

2

2

 中心定位器(含4个定位柱)

1

3

 滴胶注射器(20ml

1

4

 注射器支架

1

5

 无油真空泵

1

6

 橡胶管(含卡箍)

1

可选配件

 过滤器(真空泵用)

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