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FlexSEM 1000钨灯丝扫描电镜

型号
上海西努光学科技有限公司

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西努光学创建于2003 年,主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备,高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经验思路,经过16年的努力,成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统,通过系统资源整合,为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016 年,我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台,以更好的为客户提供现场体验,从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。

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详细信息

FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜,拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计,配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头,具有的低真空成像能量,并且采用的SEM MAP高精度导航系统及zui全的自动化功能,使性能更加*,使用更加简便。FlexSEM 1000钨灯丝扫描电镜

特点 FlexSEM 1000钨灯丝扫描电镜

1.节能环保的设计

2.高效率的自动功能

3.简捷的操作界面

4.高分辨低真空观察

技术参数   

分辨率  4.0nm(加速电压20kV,高真空模式,二次电子像) 
  15.0nm(加速电压1kV,高真空模式,二次电子)
  5.0nm(加速电压20kV,低真空模式,背散射电子像)

 

放大倍率 底片倍率:6 – 300,000x 
  显示器倍率:16 – 800,000x  

 

加速电压 0.3-20kV
低真空可变压力范围 6-100Pa 
马达台 标配三轴自动马达
行程 X: 0-40mm
Y: 0-50mm
R: 360 °
Z: 5-15mm
T: -15- 90° 
电子光学系统 电子枪:预对中钨灯丝
信号检测系统:二次电子探测器;高灵敏度背散射探测器

 

真空系统 全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵:61L/S 1台
机械泵:100L/min 1台
安全装置:带停电、漏电保护的真空保护功能
操作辅助功能 电子束旋转;动态聚焦;画质优化功能
数据输入;2点间测量、角度测量、文字;预设倍率;
样品台位置导航功能(SEM MAP);电子束标记

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