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低温气体流量计选型
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北京华丞电子有限公司（以下简称“华丞电子”）是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业，华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿，集聚了多项先进零部件技术核心人才，致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势，技术积和创新能力。产品迭代升级的同时，华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究，深挖技术，创新产品，拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品，为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上，北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴，共同开创电子科技领域的新篇章，为构建智慧社会贡献我们的力量。
详细信息
CS200-A型数字式气体质量流量控制器产品简介：
CS200-A型质量流量控制器是高性价比产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm ，橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
技术参数：
产品型号 | CS200-A型 |
产品类型 | 高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
产品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% F.S. |
响应时间 | ≤1sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton |
输入输出信号 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus |
电源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
阀类型 | 常开(流量量程≤30slm)或常闭 |
温度系数 | Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零点飘移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | 25µinch |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |
