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CS300气体质量流量控制器
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北京华丞电子有限公司（以下简称“华丞电子”）是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业，华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿，集聚了多项先进零部件技术核心人才，致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势，技术积和创新能力。产品迭代升级的同时，华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究，深挖技术，创新产品，拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品，为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上，北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴，共同开创电子科技领域的新篇章，为构建智慧社会贡献我们的力量。
详细信息
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
CS300气体质量流量控制器优势：
• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间*快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
技术参数
CS300 | ||||||||
型号 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
阀类型 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
准确度 |
| |||||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
响应时间 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
温度系数 | 零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐压 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金属密封 | |||||||
大工作压力 | 0.45MPa | |||||||
工作环境温度 | （0～50）℃ | |||||||
输入信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 |
输出信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 | |||||||
电源 | ±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极) | |||||||
表面化学成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
标准接头形式 | VCR1/4阳接头； | 1.5″B型密封接头 | VCR1/4阳接头； | 1.5″B型密封接头 | ||||
电源接头形式 | D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
