- 面议
起订量：
瑞士VAT阀67.0 对称控制阀
该企业相似产品
上海茂硕机械设备有限公司2018年成立，现在整个市场有一批受众用户，因业务发展需要，所有的产品均从境外采购进货，您可以避免国内合作商、办事处和经销商的分级合作商，层层盘剥的模式，享受到价格低、货期短，而且欧洲原装的采购服务。
对于一些德国产品，我们通过集中批量采购以获取厂商较大折扣，可以提供比国内市场价格更低的报价。
能够提供不同国别、厂商的设备配件，解决您多处寻找的麻烦和对产品质量的担心等,在价格上我们有很大的优势，公司备有大量的现货，是国内库存量Z多的公司之一，以更专业的服务，把咨询，销售，售后服务一整套体系做的更完善，让客户能够更放心的购买我们的产品，对我们的服务有更满意的评价！
我们客户遍及石化、化工、化纤、钢铁、食品、饮料、航空.制药、采矿、电力、供水及环保等行业。
优势品牌主要有：
德国宝德BURKERT，德国BOSCH-REXROTH博世力士乐，德国FESTO费斯托，
德国STEIMEL施*泵，德国HIRSCHMAN赫斯曼，德国HYDAC贺德克，
德国IFM易福门，德国TURCK图尔克，德国MURR穆尔，德国HAWE哈威,
美国纽曼帝克，美国AB,美国FAIRCHILD仙童，美国DENISON丹尼逊，
德国P F倍加福，德国BALLUFF巴鲁夫，德国SICK施克，德国E H，
意大利UNIVER气动,意大利ATOS阿托斯,美国VICKERS威格士，
德国GSR阀，法国CROUZET高诺斯，德国PILZ皮尔兹继电器，
德国SCHMERSAL施迈赛，德国SIEMENS西门子，美国ROSS阀，
美国MAC电磁阀，美国PARKER派克，美国MOOG穆格伺服阀，
美国派克电磁阀，美国威格士电磁阀，美国ASCO阿斯卡,
德国STAUFF西德福，德国NEGELE耐格，德国EMG伺服阀，
德国MAHLE马勒，德国海隆HERION，英国诺冠NORGREN，
美国UE压力开关,美国MTS位移传感器，
以及法国高诺斯继电器，日本CKD，日本丰兴，日本不二越，
日本大金，日本SUNX，日本黑田精工，日本东京美.日本SMC。
公司具有丰富的气动工控液压产品销售经验，多年来与世界各国的较有名厂商相继建立了良好的合作关系，所销产品已广泛应用于国内各工业领域，公司依仗品牌的优势，以灵活的经营方式，多渠道，*地为客户提供先进的自动化产品。
在此欢迎来电垂询，我们将竭诚为您服务，客户的满意，就是我们的成功！
详细信息
瑞士VAT阀67.0 对称控制阀
最大限度地提高质量和生产率67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，可用作下游控制和隔离阀。
工艺室内的气流特性直接影响工艺速度和质量。尽管传统上，工艺设计最注重气体流入，但下游气流同样有助于工艺优化。
通常，晶圆周围的气流越均匀，晶圆上的气体反应就越平稳、越同步。
这不仅适用于气体引入阶段，还适用于气体从舱室排出阶段。出口位置设计或阀门操作期间的流动路径变化可能造成气体分布不对称，阻碍气体排出或产生不均匀的流速。两者都可能以不同的气体暴露时间和不平衡对流的形式对晶圆造成负面影响。此外，两者都可能导致工艺耗气量增加、流程时间延长。
解决方案是对整个流程周期的气流设计进行优化。67.0对称控制阀为这种方法奠定了新基础。
采用流量优化设计，还能以全新方式设计工艺室。借助其特殊的打开和关闭机构，气流在整个开关周期中对称分布，实现的流量和压力控制。“软接触”隔离功能强化了这一点。67.0 对称控制阀移动平缓，可避免任何关闭冲击，从而减少粒子生成量。
67.0 对称控制阀的另一优势是占用空间小。相较于其他解决方案，所需的安装空间更少。
67.0 对称控制阀与气流优化的顶喷和舱室设计相结合，实现了的全新过程控制水平。这有助于提高产量质量和缩短循环周期，从而提高生产率。67.0 对称控制阀可提供 DN 为 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。阀体材料为铝或硬质阳极氧化铝。泵侧的标准法兰为 ISO-F 或 JIS。舱室法兰采用专有设计。法兰、阀板和驱动器采用弹性体密封。馈通件采用波纹管密封。阀板加热器为选件。67.0 对称控制阀由两个带有闭环控制步进电机的同步线性驱动器驱动。现代 32 位控制器可借助个人计算机或 PCU 通过各种标 准端口进行连接。专用的控制性能分析仪 (CPA) 软件能够详细监测 67.0 对称控制阀并调整周期性运动。67.0 对称控制阀计划在维护前，进行200 万次控制周期和 20 万次隔离周期。可快速轻松地完成更换密封件等维护要求
67.0 对称控制阀主要特点
特点
压力控制和隔离气流优化设计阀加热器选项波纹管馈通件
优势：在整个开关周期对称流动无冲击操作，避免粒子生成出色的压力控制性能易于维护
