持久的正常运行时间、优异的性能长期接触活性腐蚀性工艺气体的真空阀十分容易出现严重磨损，尤其是用于隔离远程等离子源以进行气体清洁的真空阀。以前，维护或更换这些真空阀常常会导致生产中断，但这已成为历史。

24.2 角阀树立了耐磨性新标准。经证明，在实际应用中，其平均正常运行时间可在现有解决方案基础上提高一倍，而在某些情况下，甚至可以大幅超过这一基准。

24.2 角阀配备针对等离子清洁应用进行优化的关闭机构，便于精确操作隔离阀，并且耐用性高，维护量极少。

然而，大多数用于等离子清洁领域的真空阀也存在缺点，例如闸封。闸封无法抵抗腐蚀性等离子气体或氟化形成的自由基。不过，24.2 角阀使用钟形关闭阀代替普通关闭阀，这一问题便迎刃而解。

有了钟形阀，便可在等离子流外部的深密封槽中放置密封件，从而更有效地防止过早磨损。不仅如此，钟形阀还可以重新设计流导。等离子流经过优化设计后，24.2 角阀的电导率比传统角阀高出 40%。这减少了通过瓶颈或湍流时损失的能量，进而增加了等离子流的功率。

最新研发设计的轴馈通件可保护馈通密封件免受过大的热应力。此外，还采用了专门的轴馈通件输送盒，用于将钟形关闭阀与馈通件热分离，防止发生直接热传导。而且，阀体与钟形关闭阀之间的间隙尺寸经过精确设置，可防止等离子穿透并大程度减少其造成的影响。

24.2 角阀已在要求苛刻的各种等离子清洁工艺中证明了性能。其采用模块化设计，因此可以轻松改造现有系统。

24.2 角阀的尺寸为 DN 16，提供铝制款，配有双作用气动驱动器。其他尺寸和内联阀可根据要求提供。

这款角阀采用被动式风冷结构，无需水冷。不过，也可选配主动式风冷结构，并使用与驱动器相同的压缩空气进行操作。无论是被动式风冷结构，还是可选配的主动式风冷结构，都能够直接有效地保护温度敏感密封面，实现均匀的密封。

除了标准的 FKM (Viton®) 密封材料外，动态密封件和静态密封件还可采用可选的高温 FFKM (Kalrez®) 材料，以进一步提高耐磨性，甚至无需主动冷却。此外，也可根据客户要求提供定制化的密封材料。

KF 法兰为 24.2 角阀标配。当然，也可添加客户特定的法兰作为选件。专为电绝缘而设计的塑料法兰夹可作为配件提供，用于提供额外的电流传播保护。

24.2 角阀经过专门设计，不仅能够提供高耐磨性，而且易于维护。只需松开四颗螺钉，执行几个简单步骤即可更换所有相关部件，例如静态密封件和动态密封件或输送盒。除此之外，还提供维护套件，便于实施快速可靠的维护流程。