多功能透射电镜测试标样（碳粒金网）（Combined Test Specimen）

多功能透射电镜测试标样（碳粒金网）：多孔碳薄膜覆盖在镀金的网上（直径3.05mm），石墨化的碳颗粒沉积其上。通过微孔可观察到碳颗粒的晶面间距。还可以通过标注镀金膜上孔内碳的沉积率来测定电镜的污染率。样品在3.05mm，200目铜网上。

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    在透射电镜观察的过程中，样品污染一直是一个影响高分辨成像质量的重要原因之一，尤其STEM越来越被广泛的应用，由于束斑要比TEM小的多，所以它的污染速率要更快，不管你是BF还是HAADF有时辛辛苦苦的找到一块好的区域，但扫一幅图下来就惨不忍睹了。试样的污染主要是由于镜筒内残留的碳氢化合物，以及吸附在样品表面的有机物，当电子束照射某一区域时，向其聚集所致。如何有效地加以改善哪？

一， 首先是要改善样品室的真空卫生。

1， 达到尽可能高的真空度，一般使用要优于2x10-5Pa（使用SIP和TMP的）。

2， 不要用手去接触放入真空中样品杆的前端部分，即橡皮圈之前。

3， 样品杆长期在大气中暴露，尤其是在雨季或潮湿地区，吸附在上面的有机物很难在短时间内被抽走，这样放入样品室后就会在一定程度上破坏真空度。有条件的话配备一个样品杆预抽机，不使用的样品杆可以先放在这里预抽保持干燥，同时有的样品杆预抽机还带有烘烤功能，这样更有利于污染物的挥发，像JEOL的 JDS-230F （GATAN的带吗？我没用过）。没有的话，在把样品取出后再将样品杆放回到样品室保持在真空状态。

4， 对于使用DP作为样品室预抽的不要超过10分钟，太长油蒸汽多少会污染一些样品。

5， 样品杆放入后不要马上将灯丝或电子枪隔离阀打开，因为在插入的过程中多少会人为的造成一点泄漏，即使看着真空度很好，再等待1~2分钟，等真空稳定后再观察。

6， 使用ACD抗污染装置，每天早上的*件事就应该将液氮加上，它不仅有利于样品室的真空卫生，而且对SIP的寿命也是有好处的。它的有效工作时间是7~8小时，所以在中午吃饭前为了确保下午工作不受影响，应该将ACD再补充满液氮。当然别忘了，下班前的zui后一件事就是要将加热棒放入ACD将剩余的液氮考出来，切记！！！

7， 1~3个月要将镜筒烘烤一次，一般在周末BAKE 60小时左右。

二， 使用PLASMA CLEANERZ(等离子清洗机)对样品进行处理。它是通过活性等离子对样品进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面的有机物及氧化层物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。另外它也可以作为样品预抽机使。

三， BEAM SHOWER（样品沐浴）-zui为经济有效的防污染方法。*次用这个方法做HAADF，我真是惊异于它的功效，千万别小瞧它。它的原理就是通过强光照射样品后，可把有机物暂时固定在样品表面，在做象CBD和STEM这样小束斑的工作时它们就不会往束斑下聚集了，从而减小了污染率。