TMC 主动隔振系统 宽带0.2至150Hz 森泉光电

产品概述

STACIS®4是**的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合准确的控制算法与*的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻*除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上。

起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

STACIS 4包括新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了*的控制算法和新的专有技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动*除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说*敏感的。当与FloorSense™技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。

产品优点：

• STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。

• *特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。

• 比STACIS III要好的振动控制，与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。

• 稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。

• STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。

TMC 主动隔振系统 宽带0.2至150Hz 森泉光电

性能

在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)*效载荷。

产品规格

森泉为您的科研事业添砖加瓦：

激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等