TMC 混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统

LaserTable-Base对现有光学平台的振动隔离技术进行了ji大改shan。通常，光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有xiao，但是实际上被动系统在1-3H乙范围内会放大振动。

TMC的STACIS技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的zhuan利技术来消chu而不是放大低频振动，成功地克服了这些局限。LaserTable-Base综合了气浮和STACIS这两种技术组成一个完整的振动消chu系统。由于两种隔离系统的串联，使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到非常高的高频。

LaserTable-Base顶部的气浮部分是模块化的、可替换的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM气浮隔振支腿，或者MaxDampB气浮隔离支腿，甚至可以是刚性支腿，这取决于实际应用的需求。

特点

• 采用STACIS专li技术

• 主动式压电陶瓷内部振动消chu系统从低于1Hz开始隔离振动

• 扩展行程的压电致动器，*高达60微米6个隔振自由度

• 为达到*大振动消chu，串联2个隔离系统采用MaxDamp空气隔离zhuan利技术操作简单，性能稳健，性价比高

• 桌子下有可用于放置设备的可选货架包含TMC的DC-2020数字控制器

模拟VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振动测试，负载为2000磅(907 kg)

将低频被动MaxDampQ气浮隔振系统与压电陶瓷主动隔振系统串联，得到垂直和水平方向两个单独的隔振性能曲线。

由此产生的隔振性能对比明显，以至于在某些频率范围内，我们受到测量仪器噪声地板的限制，无法测量和演示完整的隔离性能。也就是说，在10-12 Hz以上，组合系统的实际性能有望超过理论隔振性能曲线，因为组合隔离理论上是两个子系统提供的隔离能力的总和。

TMC 混合压电陶瓷/气浮主动隔振系统

应用案例

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激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学y件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、tou射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等