安晟RTP红外灯管加热管式炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得较快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内*水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。

安晟RTP红外灯管加热管式炉适用范围：可在真空\不同气氛\空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。