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安晟1200℃立式管式气氛炉
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生产厂家安晟1200℃立式管式气氛炉适用范围:
1200度立式管式气氛炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。
安晟1200℃立式管式气氛炉产品概述:
1200度立式管式气氛炉的*设计能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要!
工作温度 | 1100℃ |
z高温度 | 1200℃(z高可选1700℃) |
温区长度 | 400mm(可根据需求定制) |
恒温区 | 200mm |
炉管尺寸 | Φ50*1000mm |
温控方式 | 30段PID微电脑可编程自动控制 |
控温精度 | ± 1℃ |
温控保护 | 具有超温及断偶报警功能 |
加热速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加热元件 | 高电阻电热合金丝 |
工作电压 | AC 220V 单项 50 Hz |
z大功率 | 3KW |
净重 | 70KG |
炉膛材料 | 采用多晶陶瓷纤维,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转 |
真空度 | 双极旋片机械泵:10^-2 torr 泄漏率<5 mtorr / min |
供气系统 | 该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速 |
炉管材质 | 气炼石英管 |
气 密 性 | 4.03×10-3Pa |