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真空腔体水气解吸附组件
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供*的产品和服务。2010年,科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心,同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务,我们拥有专业的应用维修人员,并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件,能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应,72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务!
因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统,主要用户包括:中科院物理所,中科院半导体所,中科院大连化学物理研究所,国家纳米中心,上海纳米中心,北京大学,清华大学,中国科技大学,南京大学,复旦大学,上海交通大学,华东理工大学,浙江大学,中山大学,西安交通大学,四川大学,中国工程物理研究院,香港大学,香港城市大学,香港中文大学,香港科技大学等。
真空腔体水气解吸附组件
真空腔体水气解吸附组件
Zcuve是近年来国际上较多使用的水蒸气解吸技术。*的设计可从2.75“扩展到8”法兰尺寸,具有比例较高的紫外线功率因数和较大的法兰尺寸。
Zcuve的设计目的是在真空室内不可能有一个暴露的紫外线发射器的情况下,从大型沉积室中解吸水。标准现成的百叶窗可用于防止Zcuve在沉积过程中被涂层。
这一过程在O型环(氟橡胶)密封真空室(没有任何其他烘烤方式)上效果好,也适用于较小尺寸的样品传输。
技术参数:
型号 | 法兰口径 |
Z275 | 2.75" / 40 CF |
Z450 | 4.5" / 63 CF |
Z600 | 6.0” / 100 CF |
Z800 | 8.0” / 160 CF |
An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外线透射,超高真空窗。发射器背面的一面镜子进一步改善了185纳米紫外线辐射通过窗户进入真空室的传输。Zcuve外壳用惰性气体进行回填,以防止外壳内产生臭氧。最后,发射极引线经由mhv高压连接器连接至控制装置。
主要特点:
利用紫外辐射解吸水蒸气的优点是产生很少的热量。更少的热量意味着更少的机械零件和样品损坏。另一个优点是,uvc不需要直接的现场线路来解吸水蒸气。它不能进入角落和缝隙,但它可以反射抛光表面(如室壁),每次“反弹”损失50%到70%。
UVB-100
uvb-100使用uvc辐射无需加热就可以释放水蒸气。发射器伸入真空室。
ZCuVE
零间隙紫外发射器水蒸气解吸系统(Zcuve)利用紫外辐射无热解吸水蒸气。发射器位于真空室外面。
注:这些水蒸气解吸产品设计用于高真空系统、大真空、气室和样品传输。它们的设计并不是为了取代超高真空系统中的辐射烘烤方法,而是与特高压兼容。