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GSC-1000 磁控溅射系统

型号
GSC-1000
参数
产地类别:进口
德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

中级会员8年 

生产厂家

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半导体仪器和电子产品耗材耗材

FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料学博士共同创办的德国公司。基于 Science is international”的想法,“全球协同实验室”成为三位博士追逐的梦想。

公司愿景是从科学家到科学家,科学开创美好未来。

FIRSTNANO深耕于半导体技术、材料科学、生命科学等科研领域,始终秉承“前沿、专业、科学”的宗旨,将前沿技术引进到协同实验室。我们的产品覆盖了微纳加工制程;材料科学的检测、分析;生命科学成像,脑科学与行为认知等相关领域。作为全球科技前沿的仪器供应商,FIRSTNANO具有全球技术视野、优质供应体系、以及严格的质量管控系统,能为客户提供前沿的技术解决方案。

公司服务的客户领域广泛,其中包括消费电子、航空、航天、医药技术、半导体行业、光电子行业、高校和研究机构。

在成长的过程中,我们脚踏实地、奋勇向前。自2015年香港(中华区)公司成立以来,我们一相继在香港、深圳、上海和武汉设立了分支机构。

我们真诚邀请业内英才加入FIRSTNANO TEAM,一起为梦想扬帆起航!




详细信息

GSC-1000磁控溅射系统​

GSC-1000磁控溅射系统概述:

带有水冷或者加热(高可加热到700度)功能,大到6"旋转平台,大可支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

产品特点:

  • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • *的安全联锁功能

    选配项:
    Thickness Monitor   膜厚监测
     

    应   用:

    • SEM应用

    • 溅射金属,大到6"的晶圆片

     

     

     

                                                                                           

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产品参数

产地类别 进口
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