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FR-uProbe 微米级光学薄膜测厚仪
- 型号
- FR-uProbe
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详细信息
FR-uProbe是涂层表征应用的解决方案，要求光斑尺寸小*小微米，例如微图案表面，具有不规则表面的样品，其表现出高水平的散射光和许多其它。使用FR-uProbe，在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度，光学常数，反射率，透射率和吸光度测量只需点击即可。
FR-uProbe简单地连接到大多数商用光学显微镜的C接口适配器，并提供：
o实时光谱测量
o薄膜厚度，光学性能，非均匀性测量
o使用集成的USB连接和高质量彩色相机进行成像
o显微镜本身的性能不受影响
工作原理
白光反射光谱（WLRS）测量在一定波长范围内从薄膜或多层叠堆反射的光量，入射光垂直于（垂直于）样品表面。
通过来自界面的干涉产生的测量的反射光谱用于确定自支撑和支撑（在透明或部分/全反射基板上）薄膜堆叠的厚度，光学常数（n和k）等。
应用
o大学和研究实验室
o半导体（氧化物，氮化物，硅，抗蚀剂等）
o MEMS器件（光刻胶，硅膜等）
o LED
o数据存储
o阳极氧化
o弯曲基板上的硬/软涂层
o聚合物涂料，粘合剂等
o生物医学（聚对二甲苯，气球壁厚等）
特征
o 单击分析（无需初始猜测）
o 动态测量
o 集成USB摄像头
o 保存视频进行演示
o 350+不相同的材料
o 3年免费软件更新
o 在Windows 7/8/10上运行
