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STP1003 STP1003C 英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
- 型号
- STP1003 STP1003C
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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。
本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。
公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、中国台湾凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油；
产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。
售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及先进的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。
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详细信息
英国爱德华STP1003 、STP1003C DN200CF 进气口
概述
Edwards STP1003 是新型的涡轮分子泵，可用于先进的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能，大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
应用
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理：射束线、加速器
- 放射线应用：融合系统、回旋
功能和优势
先进的转子技术
大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程（C 型）
使用寿命延长
先进的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
技术数据
入口法兰 ISO200F 出口 KF40 吹扫口 KF10 抽速 N2 1000 ls-1 H2 800 ls-1 压缩比 N2 >108 H2 >105 加热时的极限压力（VG/ISO 法兰） 10-7 Pa (10-9 Torr) 加热时的极限压力（ICF 法兰） 10-8 Pa (10-10 Torr) 大连续出口压力 13 Pa (0.1 Torr) 额定速度 35000 rpm 启动时间 6 分钟 高入口法兰温度 120 °C 输入电压 100 至 120 (± 10) V 交流或 至 240 (± 10) V 交流 启动时的功耗 0.8 kVA 泵重量 31 kg 控制器重量 9 kg
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