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STPA803C STPA1303C 爱德华STPA803C STPA1303C涡轮分子真空泵
- 型号
- STPA803C STPA1303C
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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。
本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。
公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、中国台湾凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油；
产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。
售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及先进的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。
公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以*秀的产品，*的质量，*惠的价格，*质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。
详细信息
英国爱德华涡轮分子泵STPA803C ISO160F 进气口
概述
Edwards STPA803C 涡轮分子泵是为半导体应用而设计的。Edwards 的良好转子技术可实现的性能和大的制程灵活性。STPA803C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。爱德华STPA803C STPA1303C涡轮分子真空泵
应用
- 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源，射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理：射束线、加速器
- 放射线应用：融合系统、回旋爱德华STPA803C STPA1303C涡轮分子真空泵
功能和优势
良好的转子技术
大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
良好的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
技術データ
入口法兰 ISO160F 出口 KF40 吹扫口 KF10 水冷却接头 PT1/4 抽速 N2 800 ls-1 H2 520 ls-1 压缩比 N2 >108 H2 103 加热时的极限压力 10-7 Pa (10-9 Torr) 大连续出口压力 270 Pa (2 Torr) 大氮气吞吐量 1500 sccm 额定速度 32500 rpm 启动时间 7 分钟 高入口法兰温度 120 °C 输入电压 200 至 240 (± 10) V 交流 功耗 0.85 kVA 泵重量 39 kg 控制器重量 9 kg
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江爱德华STPA1303C、STPA803C 涡轮分子真空泵
常州扬州泰州南通南京启东海门如皋海门海安爱德华STPA1303C、STPA803C 涡轮分子真空泵
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济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆爱德华STPA1303C、STPA803C 涡轮分子真空泵
一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
