起订量:
inficon SQC310 inficon SQC310膜厚控制仪
免费会员
经销商inficon SQC310膜厚控制仪为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色。同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜(SQC310)或共镀膜(SQC310C)。用于顺序镀膜,SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出,提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜,SQC310石英晶体膜厚控制仪监测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入,和16个继电器输出,与SQC310的规范相同。
inficon SQC310膜厚控制仪
■标准RS-232和USB(有以太网选件)。
■易设置和操作,有“快速设置”菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮。
■Window程序用于开发,测试,和**工艺过程,和将仪器数据记录至您的PC上,用于过程分析与质量控制。
■**的过程控制,尤其用于低淀积率,在10读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.
■贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50个膜系。
■用单传感器或多传感器监测源材料,提供**的源分布监测。