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Pioneer 120 Advanced PLD 脉冲激光沉积系统PLD
初级会员第8年
代理商广州竞赢有限公司是一家综合性的商贸企业,集实验室设备经销、实验室组建策划于一体。公司经营的商品主要包括:Ted Pella公司微波快速组织处理系统及电镜耗材、DOSAKA切片机、英国Aquila NKD薄膜分析系统、法国CAD混凝土流变仪、英国MILLBROOK公司 MiniSIMS二次离子质谱仪、美国NEOCERA公司 PLD/PED沉积系统等生化仪器,检测仪器、环保仪器、化学试剂、实验室耗材等。目前,竞赢公司与国内外数百家实验仪器生产厂家有着良好的业务联系和协作关系,客户涉及高校、科研院所、医院、企业、政府部门等多个领域。竞赢员工90%以上拥有学士、硕士学位,雄厚的技术实力是竞赢公司质量和服务的有力保证。 “专业精神、真诚服务”是竞赢化工的服务宗旨。我们不懈地追求完善的售前、售后服务以提高客户满意度。为了全面提升竞赢公司的服务质量,除了不断引进新的产品,近年来我们更着重于从优化组织构架、培训提升员工服务意识等。面对新的挑战,我们深沉思索、感悟良多,“学习成就未来”将指导我们明确方向、激励我们追求*!
Neocera Pioneer 系列 脉冲激光沉积系统PLD— 基于经验的创新设计
Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究,建立了获得超薄薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。
这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。
• 很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压(>100 Torr)下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer系统都具备此功能(压力范围可从额定初始压强到大气压)。这也有益于纳米粒子的生成。
• Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°,保持了激光密度在靶材上的大均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,导致密度均匀性的损失。
• 为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵,消除油的回流对薄膜质量的影响,所有Pioneer系统的标准配置都采用无油泵系统。
• 我们的研究表明靶和基片的距离是获得超薄薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离,以达到更好的沉积条件。
脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的*之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10 Torr ~ 100 Torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有*功能的纳米结构和纳米颗粒。另外,PLD 是一种“ 数字” 技术,在纳米尺度上进行工艺控制(Å/pulse)。
• Neocera 在PLD 设备与工艺开发方面具有不可超越的经验
• Pioneer 系列PLD 系统是研发领域为广泛使用的商业化系统
• Neocera 不仅为客户提供基本的PLD 系统,也提供完整的PLD 实验室交钥匙方案
脉冲激光沉积系统PLD技术指标:
Pioneer240 | Pioneer180 | Pioneer120A | |
大wafer 直径 | 8” | 6” | 2” |
大靶材数量 | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” | 6 个1” 或3 个2” |
压力(Torr) | 5*10-8 | 5*10-9 | 5*10-9 |
真空室直径 | 24” | 18” | 12” |
基片加热器 | 360°旋转 | 360°旋转 | 360°旋转 |
高样品温度 | 850 ℃ | 850 ℃ | 950 ℃ |
Turbo 泵抽速* | 700 软件控制 | 400 软件控制 | 260 软件控制 |
计算机控制 | 包括 | 包括 | 包括 |
基片旋转 | 包括 | 包括 | 选件 |
基片预真空室 | 包括 | 选件 | 选件 |
扫描激光束系统 | 包括 | 选件 | - |
靶预真空室 | 包括 | 选件 | - |
IBAD 离子束辅助沉积 | 选件 | 选件 | 选件 |
CCS 连续组成扩展 | 选件 | 选件 | - |
高压RHEED | 选件 | 选件 | 选件 |
520 liters/sec 泵 | N/A | 选件 | - |
... ... |
• 作为完整PLD 实验室解决方案供应商,我们还可提供:248nm 激光器(准分子、固体等),激光气体柜,激光器和光学器件,以及光学器件等。
• 带* 的项目均可客户化。