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FERA3双束扫描电镜 FERA3双束扫描电镜
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- FERA3双束扫描电镜
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TESCAN泰思肯公司简介
TESCAN是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器的跨国公司，是知名的电子显微仪器制造商，总部位于电镜制造基地-捷克布尔诺，且已建立起国际的销售和服务网络，在捷克、法国和美国拥有4家研发中心、2个生产基地以及6家海外子公司，已有超过60年的电子显微镜研发和制造历史。其产品主要有电子显微镜、聚焦离子束系统、多通道全息显微镜及相关分析附件和软件，正被广泛应用于医学、生物、生化、农业、材料科学、冶金、化学、石油、制药、半导体和电子器件等领域中。
作为科学仪器的主要供应商之一，TESCAN正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及扫描电子显微镜在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。目前TESCAN的产品和解决方案已经在微纳米技术领域取得了优势的地位，创造了扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术，也是行业领域的先行者。TESCAN凭借优异的性能赢得越来越多的用户认可，目前生产的各系列电镜在世界范围内受到广泛的好评。从2000年至今已有2500多台电镜积极地服务于全球客户。
TESCAN中国
TESCAN于2009年正式进入中国市场，成立了TESCAN CHINA中国分公司，总部设在上海，且在北京、上海两地建立了DEMO实验室，在北京、上海、广州、重庆、南京、武汉、西安、无锡、苏州等城市设立9个维修站。TESCAN中国公司拥有经验丰富的售前应用和售后服务的技术团队，在上海的应用中心有包含钨灯丝电镜、场发射电镜、FIB以及电制冷能谱仪、电镜制样设备等全系列产品的演示培训平台，为国内用户提供参观、交流和学习的平台。
在进入中国的短短几年内，TESCAN已逐步建立起了自己的品牌，得到了广大客户的认同。TESCAN在中国的高速发展得益于产品优异的性能、快捷的售后服务以及致力于成就客户的信念，未来TESCAN中国将持续提升个性化服务，为国内用户提供更全面、更专业的综合解决方案！
详细信息
FERA3双束扫描电镜离子束流高达 2 µA，因此其溅射速度是传统 Ga 离子源的 50 倍以上，这使得 FERA3 成为完成耗时过长或几乎不可能实现的大体积铣削任务的理想设备。
在 FIB-SEM 系统中，电子和离子束的焦点可以重合，从而可以对多种实际应用进行优化。这一特征使得其在 FIB 铣削任务期间能够同时进行 SEM 成像——这使得在完成*精度要求的 FIB 操作时，性能和吞吐量都有了巨大飞跃。同时，FERA3 配备有高性能的电路系统以用于更快的图像采集，超快速的静态和动态图像畸变补偿扫描系统以及用户自定义内置应用程序脚本等。
FERA3双束扫描电镜
突出特点
现代电子光学系统
- Wide Field Optics™设计，利用中间镜 ( IML) 技术使扫描电镜具有多种操作和显示模式，如大视野模式、景深增强模式等；
- 实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)，可实现性能及电子束的优化，同时直接连续调节控制电子束参数；
- 全自动电子光学系统的设置与对中；
- 极快速的图像采集速率，高达 20 ns；
- 应用3D 电子束技术可实现*的实时立体成像观察，开启惊奇的 3D 体验及 3D 导航微纳世界之旅；
极其强大的 Xe 等离子源 FIB 镜筒
高电子回旋共振（High-ECR）产生的 Xe 等离子源 FIB 镜筒，可完成 Ga 离子源 FIB 在纳米工程领域不能完成的任务
- 溅射速率比 Ga 液态金属离子源快 50 倍；
- 离子束流范围：1 pA ~ 2 µA, 分辨率：< 25 nm；
- 新研发的高分辨率 Xe 等离子体 FIB 镜筒（选配），分辨率优于15nm，进一步增强刻蚀能力；
- 大重量的 Xe 等离子具备更大的 FIB 电流范围，在无气体辅助增强的条件下也可实现超快溅射
- 相较于 Ga 液态金属离子源，离子注入效应显著减少；
- Xe 惰性气体原子不会改变图样区域附近的电学性能；
- 铣削过程中无金属间化合物形成。
