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OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜(CSS)炉

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:电气
深圳市科晶智达科技有限公司

中级会员7年 

生产厂家

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电池研发实验设备(扣式电池,软包电池,圆柱电池)

    深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。
    深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。


    深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。


    公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。
    主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列
    •  材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等);
    •  电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案);
    •  电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等);
    •  锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案);
    •  燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案);
    •  钙钛矿太阳能电池研发实验制备;
    •  功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等);
    •  高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等);
   

公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。


    深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有*知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。


    本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业资深的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。

材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。


详细信息

OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距离蒸发镀膜仪炉


性能指标和基本配置
炉体结构&真空腔

● 两个独立的加热装置,两个独立控温装置及两路浮子流量计均被精巧的设计在一个可移动的铝合金框架上。
● 腔体是由高纯石英管制成
● 真空法兰由不锈钢制成

基本参数

● 石英腔体尺寸:11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
● 推荐加热速率:≦10℃/s
● 最高工作温度:≦600℃
● 总功率:8KW(8根红外灯管,单根功率1KW)
● 电压:AC220V,50Hz,单相(需20A的空气开关)

加热元件和载样台

● 由两组红外灯管作为加热元件可实现快速加热
● 两个独立的加热装置之间的距离可调0-70mm
● 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上
● 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
● 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(Ф3"×T0.5 mm ),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
● 可将AlN陶瓷片更换为石墨片(请点击下图3选购)
● 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料
● 如需要更换红外灯管,请点击下图4选购
   image.png

真空法兰

● 真空法兰材质为316不锈钢制作
● 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
● 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
● 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵(标配不含机械泵)抽真空度可达10-2 torr,顶部法兰可手动操作进行上下移动来进行加载/卸载衬底和蒸发料。
● 一个防腐型数显式真空表安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度。
 image.png

温控系统

● 两个数显式温控表都可设置30段控温程序
● 每个温控表都具有PID调节功能,保护加热器不受过热影响同时具有报警功能,避免过热使热电偶损坏
● 该设备可与计算机相连接,可选购控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中。
 image.png

工作温度

每个加热器最高温度:≦600℃

热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

可选配件

水冷机
image.png

外形尺寸

850(L)×745(W)×1615(H) mm
image.png

警告● 石英管密封采用真空密封,管内可处于微正压但压力要小于0.02MPa。
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
应用提示

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质量认证

CE认证

保修期一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。






  OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距离蒸发镀膜仪炉

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