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QFR系列 气浮转台
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北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王背景介绍
QFR系列气浮转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。该设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
密封式设计
QFR系列进行了优化设计，使工作台面降到低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差也比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，实现超精密转台的应用。
非接触式结构
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，大限度的提高了定位性能。电机采用*的磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
采用精密圆光栅反馈，*的驱动控制对光栅栅距细分，分辨率达0.01角秒，轴向跳动误差＜80nm。
定制化设计
定制可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 | 单位 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 | |
行程 | degree | 360 | |||
台面直径 | mm | 88 | 188 | 288 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
标准值 | ±2 | ||||
双向重复定位精度 | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ||
标准值 | ±0.75 | ||||
轴向跳动误差 | Plus值 | nm | 80 | ||
标准值 | 150 | ||||
径向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 200 | ||||
摆角误差 | Plus值 | μrad | 3 | ||
标准值 | 6 | ||||
电子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度（空载） | rpm | 300 | |||
负载 | Kg | 50 | |||
供气压力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||
