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QFR-NOTE系列 精密气浮转台
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生产厂家王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司,简称:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。
在国家大力发展精密制造,鼓励发展自主品牌的大背景下,由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立,团队具有多年核心部件研发经验,拥有多种精密应用领域经验,成熟的产品应用案例。
产品拥有:精密气浮直线台、精密气浮转台、多轴精密气浮台、精密直驱直线台、多轴精密直驱直线台、精密垂直升降台、笛卡尔龙门系统及定制产品。
业务分布:精密制造业,高校及科研院所。
谁影响瑞邦精控
瑞邦精控坚持以客户为中心,通过创新的产品为客户创造价值;以奋斗者为本,让有贡献者得到合理回报;与供应商、合作伙伴、高校、研究机构等构建共赢的生态圈,推动技术进步和产业发展,制造出高精密运动台。
我们为中国带来了什么
提高行业的精度水平:瑞邦精控为企业、高校及科研单位提供精密运动台,精度纳米级别,提高整个行业的精度水平。
为奋斗者提供发展空间:坚持“以奋斗者为本”,以责任贡献来评价员工,为员工提供快速成长发展平台,也通过个人的努力,收获合理的回报与值得回味的人生经历。
我们坚持什么
瑞邦精控坚持高精密为主线,坚持不走捷径,拒接机会主义,踏踏实实,积厚薄发;坚持以客户为中心,*艰苦奋斗,坚持自我批评与创新,撸起袖子加油干,为提高国内产业精度水平,一往无前。
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
背景介绍
精密气浮转台提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。该设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造等行业。
密封式设计
精密气浮转台进行了优化设计,使工作台面降到低,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差也比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,实现超精密转台的应用。
非接触式结构
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,大限度的提高了定位性能。电机采用*的磁路设计,以小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
采用精密圆光栅反馈,*的驱动控制对光栅栅距细分,分辨率达0.01角秒,轴向跳动误差100nm。
定制化设计
定制可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 | 单位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
行程 | degree | 360 | |||
台面直径 | mm | 66 | 148 | 248 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
标准值 | ±3 | ||||
双向重复定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
标准值 | ≤1.5 | ||||
轴向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 250 | ||||
径向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 300 | ||||
电子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度(空载) | rpm | 300 | |||
负载 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 |