起订量:
Automegasamdri-915B 美国临界点干燥仪
半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。
美国临界点干燥仪Automegasamdri®-915B,系列B
特点:
6”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪;
洁净室和防静电兼容设计;
通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性;
所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;
可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性;
每个操作模式LED显示,一目了然;
集成自动控温;
内置圆盘裂片保证安全;
可以一次干燥5片直径为6”的圆晶,更换样品架,也可以一次干燥5片直径4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶(提供HF兼容的样品架);
静态压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性;
0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;
内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;
拥有高效隔热的冷却系统,使系统能够迅速从室温降到将近0°C;
标配SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。
样品室填块可以调整样品室内径到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间;
所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;
美国临界点干燥仪规格:
外部尺寸:宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm);
占地尺寸:宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
样品室尺寸:内径6.50” × 深1.25”,样品室容积:679 ml;
温度范围:- 30 ℃ 至 60 ℃,压力范围:0 - 2000 psi;
LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制;
120V/50-60HZ(可选其他电压);
标准配件:
高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;
外部LCO2过滤装置,去除水/油以及颗粒(小至0.5μm),过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;
SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳,降低排气噪音;
防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;
内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门
样品室O型圈3个,样品室照明灯2个,5A保险丝2个;
4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6”、4、3、2和1.25英寸;
直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容;
流量计,可准确控制BLEED的排气速率;
用户手册;
所有部件一年质保。