一．高精度电容薄膜真空计VR-208C-510D（E）概述：

PBS-510xx-C1型电容薄膜真空计是PBS-510系列薄膜真空计产品型号之一（全系列产品型号及分类参见附录1）。其主要特点是精度等级较高、计量可重复性好、采用DB15D电缆插座(线位与MKS600系列等薄膜真空计相同.可以替代使用)。PBS-510xx-C1型电容薄膜真空计，从测量机理上，它具有传统的电容薄膜规*的良好的线性度、测量值与被测气体成分无关等优点；从其结构上，它采用了新一代的MCU数字芯片器件，是一种智能型的数字式真空传感器。PBS-510xx-C1型电容薄膜真空计不仅可以输出多种标准模拟量信号，还可以有RS-485MODBUS、HART等协议的数据通讯接口供选配，以实现直接与智能型科学仪器之间的数据通讯。  

PBS-510A/B/C/D-C1型薄膜真空计适用于实验室环境和精密科学仪器配套使用，对温湿度、振动、被测气体压力波动率、空气洁净度、电磁干扰强度等都有一定的要求，另外，为了保证高精度真空压力测量，对后续二次仪表、采集电路精度等级、分辨率、供电电源条件、保护地线、工作地线等等技术要求必须符合产品有关规定；因此，使用本型号产品之前，务必详细阅读并理解此使用说明书。

二．结构与安装使用

（ 一）结构：

PBS-510x-C1薄膜真空计外观如图1所示：                     3.↓

1.外壳；                                                                                            

2 KF-16真空快卸法兰接口；                           1→       ↓  ←6

3.D15插座；

4.S-满度调节孔；                                          4    5

5.Z--零点调节孔；

6.固定螺母。

 （二）安装

1.避免在有较强振动、电磁干扰环境中使用。

设备需有良好工作地线（接地电阻<20~25欧姆）；

设备外壳良好接地（保护地线） ；                                   2→

2. 电容薄膜真空计 应安装于 垂直位置（如图）

 如设备位置必须安装于水平或其他角度位置时

 必须重新带角度校准 ，修正由此带来的附加误差。  图一 PBS-510xx-C1型薄膜真空计

3. 真空连接 标配采用NW16 ISO-KF (即：KF-16) 真空快卸法兰，配套件备有

304不锈钢材质的KF-16焊接法兰，和卡箍、中心支架、O型橡胶密封圈、通过焊接法兰头连接到设备管道或容器。安装注意检查焊接法兰焊接质量、法兰端面、密封圈的光洁度及清洁与否 ，注意真空密封良好和安装稳定牢固。

（三）.电气连接：

1.高精度电容薄膜真空计VR-208C-510D（E）的电气连接采用D15型15针高可靠性接插件，其标配的电源电压为±15Vdc；电流：<35mA;三线制；输出信号：0～10VDC,与电源电压供地接法。如下图所示：;

• 使用±15VCD电源时，接线端子如下：

                             d7-------  +15VDC----- 连接电缆分线色：  红色或棕色    

                             d6------  —15VDC------ 连接电缆分线色： 蓝色

                             d2------  输出0--10V-------   连接电缆分线色：  黄色或灰色

                             D12 ------- 输出零位（电源0位，接外壳）----- 连接电缆分线色： 黑色

• 使用24VCD电源时，接线端子如下：

                             d7-------  24VDC正极 ----- 连接电缆分线色：  红色 或棕色    

                             d6------  。。。。。。负极--------- 连接电缆分线色： 蓝色

                             d2------  输出0--10V-------   连接电缆分线色：   黄色 或灰色

                             D12 ------- 输出零位（接外壳）----- 连接电缆分线色： 黑色

                             图. 2 PBS-510xx-C1型薄膜真空计 电气连接说明

(四).计量校准

PBS-510xx-C1型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。用于检定的标准器其精度应高于被检定仪器的一个精度等级以上。使用中若需调校零点，必须要有较高真空度的真空源。建议平时尽量不要随便自行调校，可送（具有该项目CNAS检定资质的）当地行政计量技术机构检定调校和校准。建议的计量检定周期为一年。

• 售后服务及注意事项

1.使用前务必详细阅读使用说明书，以防误操作；

2.出现故障现象，请及时与厂家联系，切不可擅自修理，以防人为故障。

3.仪器的质保期为18个月，超出质保期，或人为损坏，或自行拆卸者 ，需支付维修工本费；

4.配接二次仪表，必须详细了解其技术性能、输入阻抗、测量分辨率必须符合薄膜真空计的具体技术指标，建议二次仪表的输入阻抗必须大于100k～1000k欧姆，测量的AD转换分辨率高于20位.；外接电源电压必须符合薄膜真空计具体规格要求，详细见产品技术指标。

主要技术指标：

测量范围：（1Tor、10Tor、100Tor、1000Tor）

测量精度：0.1级、0.25级

测量分辨率：0.0001Tor、0.001Tor、0.01Tor、0.1Tor

输出信号：4~20mA\\1—5V\\0～10V,

阻抗：<600Ω；

响应时间：≦20ms

典型使用环境温度范围：10—50C；

电源电压：±15V(标配)、±12V、24V DC,

材质：304不锈钢          

过载压力：400kPa

外形尺寸：Φ48x125mm ，

重量：0.39kg                  

真空接口标准：NW16 ISO KF(标配)

电气连接  ：15 PIN D-sub