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SOMIS&S1600/V-D 扩散炉
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生产厂家无锡松煜科技有限公司是一家集开发、生产、销售为一体的高速发展的光伏设备及半导体工艺设备专业的设备制造商。
2017年12月,正隆天基公司在无锡注册成立。
公司主要产品有:太阳能电池片*工艺设备,半导体技术*工艺设备,电子元器件*工艺设备,集成电路工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家*单位*的工艺设备,产品种类多达上百个。例:太阳能电池片*工艺设备---ALD,扩散炉,LPCVD,PECVD。
无锡松煜公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。公司将本着为客户解决问题的思路,坚持创新、进取、务实、感恩的企业理念,以*、科学、严谨的管理手段为基础;以规范化、合理化、标准化、效率化为准则,不断提升产品质量、提升产品可靠性,全心全意为客户服务。
无锡松煜将围绕核心技术,不断完善人力、资本、管理、技术等平台建设,不断提高核心竞争能力,向着成为具有竞争力的现代化企业的目标不懈努力。
应用于分立器件、电子电力器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及结烧等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
控制系统特点
可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
自行运行中可暂停/继续行动功能
PID参数自整定功能
系统故障自诊功能
停电后断电继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制调到下一步工艺运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
工艺气体的程序控制功能
关键件全部具有高可靠性
具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面
具有多重故障报警及各种安全互锁保护功能
该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应功能
主要技术指标
可配工艺管外径:2-8英寸
可配工艺管数量:1-5管/台
工作温度范围:400-1300℃
恒温区长度及精度:300-1200mm 800-1300℃ ±0.5℃
单点温度稳定性:800-1300℃ ±0.5℃
大可控升温速度:15℃/min