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XTC/3薄膜镀层控制仪

型号
参数
应用领域:环保,化工
英福康(广州)真空仪器有限公司

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检漏仪,真空计,膜厚仪等

关于INFICON

位于德国科隆的INFICON公司是化的泄漏检测仪器和设备的开发商、生产商和供应商之一。检漏仪器广泛应用于高要求工业过程生产和质量控制中。INFICON的主要客户包括空调和制冷设备的制造商和服务公司,汽车和汽车供应链行业,半导体行业和泄漏检测系统的集成商。凭借多年的泄漏测试技术和泄漏检测行业经验,INFICON现在也希望支持食品行业,因此开发了Contura S400泄漏检测仪。INFICON在泄漏检测技术方面有超过50年的经验。在科隆(德国), Balzers (列支敦士登), Linköping (瑞典), 锡拉丘兹 (USA),和 中国上海设有制造工厂,同时在主要工业化国家的和城市设有销售办事处,并扩展的销售合作伙伴网络,目前产品已在范围内进行销售。在2016年,INFICON AG大约约有1000名员工,销售额约3.1亿美元。同时INFICON (IFCN)在瑞士六家交易所交易。

详细信息

*,实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的XTC/3薄膜镀层控制仪
装备有ModeLock1技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和*的可靠性,可确保高的生产率.
 

XTC/3薄膜镀层控制仪特 点

 

■  有单膜层和多膜层型号
■  ModeLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
■  支持INFICON Crystal 12, CrystalSix®和双传感器自动晶体切换,用于高生产率
■  XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源
■  XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源
■  易阅读的TFT LCD图形显示器
■  为便于检索,可*的和描述性的薄膜与过程名称
■  有以太网连接件
■  单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件  
■  INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)

 

应用:

集成电路执照
光学镀膜
溅射镀膜
薄膜太阳能电池制造
OLED制造

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产品参数

应用领域 环保,化工
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