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SR-M显微膜厚仪
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光谱椭偏仪，反射膜厚仪
武汉颐光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，现有员工80%以上拥有硕士或博士学位，是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、概述
SR-M 针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。
■ 光斑大小可进行定制，最小可达到10um；
■ 非接触、非破坏测量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；
■ 配置灵活、支持定制化
二、产品特点
■ 采用高强度卤素光源，光源稳定性好；
■ 采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；
■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；
三、产品应用
显微膜厚仪广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
技术参数
