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SR-Mapping反射膜厚仪
武汉颐光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，现有员工80%以上拥有硕士或博士学位，是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、概述
SR-Mapping 反射膜厚仪系列利用反射干涉的原理进行无损测量，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时搭配R-Theta位移台，兼容6到12寸样品，可以对整个样品进行快速扫描，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对于膜厚均匀性做出评价。
■ 光学薄膜测量解决方案；
■ 非接触、非破坏测量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；
■ 膜厚重复性测量精度：0.02nm
■ 全自动测量，测量点数跟位置在Recipe中可根据需要编辑
■ 采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖紫外可见光到近红外范围；
■ 采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；
■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；
■ 配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息；
三、产品应用
广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
技术参数
