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日本芝浦机电shibaura多离子真空计GMi系列
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详细信息
日本芝浦机电shibaura多离子真空计GMi系列
该产品是一种换能器型多离子规，可以连接具有不同测量范围的测头。
在将常规方法的多种原理结合到一个外壳中的复杂真空计中，“由于一个探针的故障，必须*更换一个探针”“探针复杂且容易发生故障”我们经常听到客户说“很贵”。
使用这种方法，可以进行宽带测量，大大降低了运行成本，并支持低环境负荷。
GMi系列的特点
广域测量可以测量
从大气压到高真空区域（10 5至5×10 -8 Pa）（当同时使用GPM和GAM时）。可以连接不同测量范围的探头，使用
多离子规可以根据应用选择探头。准确的大气压测量
轻松，准确地确认大气压（使用GAM时）支持低环境负荷由于
仅在必要时可以更换接触点，因此可以降低运行成本。
配备能检查异常的LED 的能见度得到改善
易于维护更换探头每种模式（组合模式）的
规格GMi + GPM（离子计+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（离子计+皮拉尼表+大气压传感器）测量值输出信号
压力为0-10V输出（对数输出）控制输出信号
设定值3点可输出（GMi-1）可以进行串行通讯规格
RS232C / RS485通讯（GMi-2）符合
CE标准
用途
用于各种制造设备（例如太阳能电池，FPD，半导体和电子零件）的高真空区域中的过程控制
确认具有在线式和单晶圆式等多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力
高真空/超高真空设备压力测量
日本芝浦机电shibaura多离子真空计GMi系列
规范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 规范 | 标准规格 | 串行通讯规格 | |
| 自适应多离子量规传感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可连接的 | 传感器多离子压力表传感器：1个 皮拉尼压力表GPM：1个（可选） 大气压传感器GAM：1个（可选） | ||
| 采样时间 | 70毫秒4倍移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压DC 0至10 V，对数输出0.75 V / 1位 压力转换公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于设定点调整也用作输出电源（仅适用于GMi-1） | ||
| 更新时间 | 50毫秒 | ||
| 控制输入信号 | FIL ON / OFF，FIL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集电极开路输入，负逻辑运行 * FIL ON / OFF信号的用法因模式而异。 | -- | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点1/2/3 发射有效 灯丝功率监控 额定值：24 VMAX，50 mAMAX， 饱和电压1 V | -- | |
| 串行通讯规格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED显示屏 | 电源/错误：电源和错误指示灯（闪烁状态根据每种模式而变化） FIL：发射有效的指示灯 | ||
| SET1：设定点1 LED SET2： 设定点2 LED SET3：设定点3 LED | -- | ||
| 发射电流 | 1 mA（1×10 -3 Pa以下），10 µA | ||
| 德加斯 | 电子冲击解吸方法（电子轰击）1 mA，330 V | ||
| 传感器耐压 | 2 x 10 5 Pa（压力）*法兰和夹具等的耐压性必须分开考虑。 | ||
| 传感器内部容积 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作温度极限 | 10〜50℃ | ||
| 工作湿度范围 | 15-80％（但是，无凝结） | ||
| 贮存温度 | -20至65°C（断电时无结露） | ||
| IP防护等级 | IP30 | ||
| 电源电压 | 20至28 VDC（纹波，噪声1％或更低）19 W或更低（电源打开时为156 W） | ||
| I / O连接器 | D-sub15针（M2.6螺丝） | ||
| 大众 | 控制器：约530 g，BA探针（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合标准 | CE认证 | ||
| 选项 | 电源/错误：多离子计传感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材质：长丝1 lr / Y 2 O 3涂层，长丝2 W（钨） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼规 | SPU | ||
| 皮拉尼仪表传感器 | WP-16（NW16） 材质：细丝铂，其他BS / Ni，镀层，Ni，焊料 | ||
| 大气压传感器 | GAM（NW16）材质：SUS316L | ||
| 单元电缆 | GPM为0.5毫米 GAM为0.5毫米 | ||
| 显示单位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V电源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V电源） IM2R1型（使用AC 100 V电源） | ||
| 显示电缆 | GMi和显示单元之间的电缆 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每种模式的规格
GMi-1 / GMi-2可以从三种使用类型中选择：单个多离子压力计模式，带皮拉尼压力计的组合模式以及带皮拉尼压力计和大气压传感器的三重组合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 独立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM 组合模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 组合模式 |
|---|---|---|---|
| 测量压力范围 | 5×10 -8〜1 ×10 1帕 | 5×10 -8〜1 ×10 4帕 | 5×10 -8〜1 ×10 5帕 |
| 测量精度 | 5×10 -8〜1 ×10 1 Pa±15％ | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3至1.0×10 4 Pa：不保证精度 | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：无精度保证 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3×10 3 Pa，参考温度25°C） |
| 重复性 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
