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Platform®多通道石英晶体分析仪
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Platform®多通道石英晶体分析仪基于声波传感原理，可通过石英传感器频率变化和耗散变化来检测芯片表面质量和结构变化。适用于刚性和粘弹性薄膜，具有倍频操作模式，可给出薄膜的粘度，弹性模量，粘性模量，厚度等信息。倍频曲线也可以用来表征薄膜的均匀性，用来评价沉积方法。测试频率高达160MHz，灵敏度可达50pg/cm2。
Platform®多通道石英晶体分析仪应用领域
腐蚀研究
锂离子电池评价
电镀研究，沉积层厚度测试
气体检测、成分分析，环境监测
表面涂层研究
纳米粒子吸脱附
离子和溶剂的传输
表面活性剂去污能力评价
