CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。

 七星华创质量流量计优势
• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• g端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品尺寸符合通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。

七星华创质量流量计CS200 H
型号 CS200-H 
阀类型 常闭 无 
流量规格(N2) (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)  SLM 
准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 
线性 ±0.5% F.S. 
重复精度 ±0.2% F.S. 
响应时间 ≤ 1sec 
工作压差范围 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM ＜0.02 MPa 
下限大工作压力 0.45MPa 
温度系数 零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 
耐压强度 3MPa 
漏率 1×10-11 Pa·m3 / sec He 
密封材料 金属密封 
工作环境温度 质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ 
输入信号 数字: RS485 或 DeviceNet
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA 无 
输出信号 数字:RS485或 DeviceNet  
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA 
零漂 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 
电源 ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) 
表面化学成分 Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） 
表面粗糙度 10 Ra 
标准接头形式 双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头；1.5´´C型密封接头
1.5´´ W型密封接头 
电源接头形式 D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头 
连接高温电缆 2m 
重量 1.2Kg 1Kg